[发明专利]多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法

权利要求书

1.一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法，其特征在于所述方法是将一定粒度的超纯氮化硅粉末和去离子水(DI水)以一定量配比，搅拌均匀，然后在洁净腔室内用高压枪喷涂在预热过的石英坩埚内壁，经过烘箱在一定程序下烧结，在石英坩埚内壁形成了一层致密的氮化硅膜喷涂层，烘箱抽成真空后通入Ar气,坩埚在该环境下烧结，以便保持氮化硅膜喷涂层的洁净，同时防止O等杂质元素混入，

所述超纯氮化硅粉末的粒度为：粉末粒度D(v，0.5)＝0.5μm，D(V，1.0)＝1.10μm，也就是氮化硅颗粒直径D≤0.5μm比率占50％，而最大颗粒直径为1.10μm，

所述超纯氮化硅粉末与去离子水的质量配比为：Si₃N₄∶去离子水＝1∶4～1∶7，

所述石英坩埚的预热温度为：60～70℃，

所述烘箱的烧结程序分为五步：第一步，常温～800℃，时间为3小时±0.5小时；第二步，800～1100℃，时间为4小时±1小时；第三步，1100℃±100℃，恒温4小时±1小时；第四步，1100℃±100℃～800℃，时间4小时±0.5小时；第五步，开炉自然冷却。

2.根据权利要求1所述的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法，其特征在于所述超纯氮化硅粉末与去离子水的质量配比为：对于270kg锭，采用Si₃N₄∶去离子水＝1∶5～1∶7。 

3.根据权利要求1所述的一种多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂方法，其特征在于所述超纯氮化硅粉末与去离子水的质量配比为：对于400kg锭，采用Si₃N₄∶去离子水＝1∶4～1∶6。