[发明专利]触摸式电子纸及其制造方法

权利要求书

1.一种触摸式电子纸，包括对盒的薄膜晶体管基板和透明电极基板，其 特征在于，所述透明电极基板包括形成在第一基板上的公共电极、形成在公 共电极上的作为光传输通道的导光柱和涂覆在导光柱以外的公共电极表面上 的微胶囊电子墨水，所述薄膜晶体管基板包括形成在第二基板上的用于与透 明电极基板的公共电极形成驱动微胶囊电子墨水的电场的显示电极、用于驱 动所述显示电极的第一薄膜晶体管、用于探测通过所述导光柱透射的光并产 生电平信号的第二薄膜晶体管和用于读取所述电平信号并发送给后端处理系 统的第三薄膜晶体管，所述导光柱与所述第二薄膜晶体管相对设置。

2.根据权利要求1所述的触摸式电子纸，其特征在于，所述导光柱的高 度为薄膜晶体管基板与透明电极基板之间间距的35％～65％。

3.根据权利要求2所述的触摸式电子纸，其特征在于，所述导光柱的高 度为薄膜晶体管基板与透明电极基板之间间距的50％。

4.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的触摸式电子纸，其特征在 于，所述第一薄膜晶体管包括：

第一栅电极，形成在第二基板上，并与第一栅线连接；

栅绝缘层，形成在第一栅电极上，并覆盖整个第二基板；

第一有源层，包括半导体层和掺杂半导体层，形成在栅绝缘层上，并位 于第一栅电极上方；

第一源电极，一端位于第一有源层上，另一端与数据线连接；

第一漏电极，一端位于第一有源层上，另一端与显示电极连接；

第一TFT沟道区域，形成在第一源电极与第一漏电极之间，第一源电极 与第一漏电极之间的掺杂半导体层被完全刻蚀掉，露出半导体层；

钝化层，形成在第一源电极和第一漏电极上，并覆盖整个第二基板，其 上开设有使显示电极与第一漏电极连接的钝化层过孔。

5.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的触摸式电子纸，其特征在 于，所述第二薄膜晶体管包括：

第二栅电极，形成在第二基板上，并与第二栅线连接；

栅绝缘层，形成在第二栅电极上，并覆盖整个第二基板；

第二有源层，包括半导体层和掺杂半导体层，形成在栅绝缘层上，并位 于第二栅电极上方；

第二源电极，一端位于第二有源层上，另一端与电源线连接；

第二漏电极，一端位于第二有源层上，另一端与第三薄膜晶体管的第三 源电极连接；

第二TFT沟道区域，形成在第二源电极与第二漏电极之间，第二源电极 与第二漏电极之间的掺杂半导体层被完全刻蚀掉，露出半导体层；

钝化层，形成在第二源电极和第二漏电极上，并覆盖整个第二基板。

6.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的触摸式电子纸，其特征在 于，所述第三薄膜晶体管包括：

第三栅电极，形成在第二基板上，并与第三栅线连接；

栅绝缘层，形成在第三栅电极上，并覆盖整个第二基板；

第三有源层，包括半导体层和掺杂半导体层，形成在栅绝缘层上，并位 于第三栅电极上方；

第三源电极，一端位于第三有源层上，另一端与第二薄膜晶体管的第二 漏电极连接；

第三漏电极，一端位于第三有源层上，另一端与信号线连接；

第三TFT沟道区域，形成在第三源电极与第三漏电极之间，第三源电极 与第三漏电极之间的掺杂半导体层被完全刻蚀掉，露出半导体层；

钝化层，形成在第三源电极和第三漏电极上，并覆盖整个第二基板。