[发明专利]一种注入机用晶片注入过渡夹无效
| 申请号： | 200810238898.0 | 申请日： | 2008-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN101764028A | 公开（公告）日： | 2010-06-30 |
| 发明（设计）人： | 袁卫华;龙会跃;钟新华 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01L21/687;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 注入 晶片 过渡 | ||
【权利要求书】：
1.本发明采用一个与标准四寸晶片同等大小的铝基片夹座，在夹座上挖有公差稍大于三寸晶片的圆孔，孔与铝基座同心且孔深度与三寸晶片同等厚度，三寸晶片放置在孔中；
2.在铝基座的上略大于三寸晶片外径留有间断的凸起圆环来与三寸晶片组成公差稍大的间隙配合，用于限位三寸晶片；
3.在凸起圆环隔断处有设计了三个可以转动的弹性压片，弹性压片用空心铆钉铆接在铝基片夹上，用于更进一步的限位固定三寸晶片。
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