[发明专利]滤光传感器及制造方法

说明书

技术领域：

本发明涉及传感器，具体地说是一种应用于光电转换产品上的滤光传感器及制造方法。

背景技术

图1是传感器Wafer盘1的主视图；图2是Wafer盘1经分割后的单体传感器的轴侧图，图2中2是传感器基体，3是感光视窗；图3是单体传感器的主视图，图3中2是传感器基体、3是感光视窗、4是平面滤光胶膜，灵敏度是传感器的最重要的指标之一。

在上述滤光传感器中，滤光胶膜的制造方法是：(1)在Wafer盘上印刷滤光胶然后烘干，(2)在滤光胶表面涂布感光胶然后烘干，(3)利用光刻板进行光刻，(4)把指定感光视窗以外部位的感光胶采用光照使其变性，以消除其粘着力，经清洗把粘着力消除部位的感光胶去掉，(5)感光胶去掉后露出滤光胶，去除感光视窗以外部位露出的滤光胶后，(6)再去除指定感光视窗上面的光刻胶，露出滤光胶膜后进行清洗，即完成了一种颜色滤光胶膜的制作，再重复上述步骤制作其它感光视窗上另一种颜色的滤光胶膜，若一个传感器要实现三种基色RGB的滤光功能，需要重复上述步履三次，具有工艺程序多、设备投资昂贵、工艺控制难度大等不足，不能满足多机种小批量的生产要求，同时因其采用印刷工艺，感光视窗上的滤光胶膜只能呈平面状，不能制成凸面状，使感光视窗上的滤光胶膜没有聚光功能，传感器灵敏度得不到大幅度提高。

发明内容：

本发明的目的是解决现有技术的不足，提出一种工艺简单、生产成本低、具有聚光功能、有效提高灵敏度的滤光传感器及制造方法。

本发明可以通过如下措施达到：

一种滤光传感器，包括传感器基体，传感器基体上设有感光视窗，其特征在于感光视窗上设有凸形滤光胶膜，滤光胶膜的外形可以是正方形、长方形、圆形、椭圆形、正六角形或八角形等，凸形滤光胶膜具有聚光功能，聚集射往感光视窗上的光信号，提高光的强度和利用率，从而有效提高传感器的灵敏度。

本发明的制造方法是：采用点胶机在指定的感光视窗上涂滤光胶，滤光胶干燥后形成凸形滤光胶膜。

本发明可以方便地对单个感光视窗涂滤光胶，可以根据技术要求或感光视窗的形状选择点胶机的涂布轨迹，如正方形、长方形、圆形、椭圆形、正六角形或八角形等。

本发明中的点胶机可以配备多个点胶枪，每个点胶枪内装有过滤不同色光的滤光胶液，更换点胶机上的点胶枪，可以方便地在感光视窗上制作过滤不同色光的滤光胶膜，以过滤相应不同颜色的光。

本发明由于采用点胶机涂胶法，涂胶位置和滤光胶膜要求的凸状可以通过点胶机程序任意设定，可以满足不同滤光传感器要求在不同感光视窗上的涂胶要求，所以更换机种便捷，特别适用于多机种小批量的生产要求。

本发明通过点胶机可以方便地控制点胶机的运行轨迹和出胶量，以使涂在感光视窗上的滤光胶膜呈不同角度的凸形状，感光视窗上的凸形滤光胶膜具有较好的聚光功能，聚集射往在感光视窗上的光信号，提高光的强度和利用率，从而有效提高传感器的重要参数--灵敏度。

本发明具有设备投资少，工艺控制简单，点胶位置可以通过程序任意设定，满足不同滤光传感器要求在不同感光视窗上的涂胶要求，特别适应多机种小批量的生产需求。可以通过程序设定各种涂布轨迹，以适应涂布各种形状的感光视窗和满足各种滤光传感器的性能要求。控制胶液量的大小使滤光胶膜呈不同角度的凸面形状，凸面滤光胶膜具有聚光功能，聚集射往感光视窗上的光信号，提高光的强度和利用率，所以能有效提高传感器的灵敏度，起到既有滤光功能又能大幅度提高灵敏度的作用。

附图说明：

图1是本发明的Wafer盘的主视图。

图2是图1分割成单体传感器的轴侧图。

图3是图2中感光视窗表面涂布平面滤光胶膜的主视图。

图4为图2中感光视窗表面涂布凸面滤光胶膜的主视图。

图中标记：Wafer盘1、传感器基体2、感光视窗3、平面滤光胶膜4、凸面滤光胶膜5。

具体实施方式：

下面结合附图对本发明作进一步描述：

如附图所示，图1是传感器Wafer盘的主视图，1是Wafer盘；图2是Wafer盘经分割后的单体传感器的轴侧图，2是传感器基体，3是感光视窗；图3是单体传感器的主视图，4是感光视窗表面的平面滤光胶膜；图4是单体传感器的主视图，5是感光视窗表面的凸面滤光胶膜。

在上述光传感中，感光视窗表面设有滤光胶膜，光信号透过滤光胶膜后会过滤掉不用的光信号，感光视窗只收集透过滤光胶膜有用的光信号。