[发明专利]电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法

权利要求书

1、一种电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法，其特征在于包括以下步骤：1)获得电子背散射衍射谱，并测量衍射谱中的晶体衍射信息；2)获得晶体的二维倒易面；3)由二维倒易面重构三维倒易初基胞；4)利用菊池带宽度以及同一菊池极中菊池带之间的夹角求解三维倒易初基胞的晶胞参数；5)求解晶体的倒易约化胞；6)在倒易空间中确定晶体的布拉菲点阵；7)确定晶体的布拉菲点阵。

2、如权利要求1所述的电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法，其特征在于：步骤1)中，在扫描电子显微镜上利用电子背散射衍射的硬件设备获取被分析晶体的电子背散射衍射谱，谱图由多条菊池带组成，在衍射谱中依次标记菊池带的序号，测量菊池带的宽度，并用菊池带中心线表征菊池带方位角，菊池带中心线之间的交点称为菊池极，测量过程同时可以获得菊池带与菊池极的所属关系，由相机常数和菊池带宽度计算出待分析样品对应的倒易矢量长度，由菊池带方位角确定倒易矢量的方位角A_i，这里下标i代表菊池带的序号，进而计算出同一菊池极中倒易矢量之间的夹角。

3、如权利要求1所述的电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法，其特征在于：步骤2)中，对于电子背散射衍射谱中的每个菊池极，找出经过同一菊池极的倒易矢量，所有倒易矢量起始于一点，该点为倒易空间的坐标原点，倒易矢量的起点和终点均表示阵点，根据步骤1)测量得到的同一菊池极中倒易矢量的长度和夹角，重现该菊池极对应的二维倒易面，晶体阵点的周期性排列规律决定了倒易阵点在二维倒易面上也呈周期性排列，即从二维倒易面上可以得出倒易矢量的几何关系，采用这一方法可以重构所有菊池极对应的二维倒易面。

4、如权利要求1所述的电子背散射衍射确定未知晶体布拉菲点阵的方法，其特征在于：步骤3)中，在电子背散射衍射谱中，任意三个不同的菊池极构成一个三角形，在所有这些三角形中，存在着许多基本三角形，即该类三角形的边存在菊池带、且不再被其它菊池带分割成更小的三角形，任意选择一个基本三角形，将其三条边上菊池带对应的倒易矢量设为三维倒易初基胞的基矢，以任意顺序设定其倒易指数分别为[100]^*、[010]^*和[001]^*。