[发明专利]一种洁净室

说明书

技术领域

本发明涉及一种洁净室，该洁净室同时具备电磁屏蔽室的功能。

背景技术

电子工业的迅速发展使得各种各样的电子设备得到了广泛的普及和应用， 它们在方便人类工作的同时也释放出大量的电磁辐射。大量的电磁辐射一方面 会危害人们的健康，另一方面也会干扰其它电子产品内部微电流的控制信号， 使某些精密电子设备的操作系统出现失误或瘫痪。此外，电磁辐射的发散性还 给信息安全带来了隐患，计算机等科研设备在工作时会通过电磁波将有用的信 息泄露出去，导致信息泄密，有可能造成政治、经济、国防等方面的重大损失。

另一方面，随着微电子、半导体、精密机械等制作领域的技术不断升级， 对洁净室内的空气洁净要求不再仅仅满足于尘埃粒子、细菌、温度、湿度、压 力等参数达到要求，还进一步对噪音、振动、高纯度水气、静电辐射等方面的 洁净程度提出了更高的要求。这就要求传统的洁净室具有屏蔽辐射的能力，或 者需要令传统的屏蔽室同时具有洁净室的功能。

电磁屏蔽的基本技术原理是：用金属屏蔽材料将电磁干扰源封闭起来，使 其外部电磁场强度低于允许值的一种措施；或用金属屏蔽材料将电磁敏感电路 封闭起来，使其内部电磁场强度低于允许值的一种措施。

洁净室和屏蔽室建造属于不同的技术领域，传统电磁屏蔽室尤其是目前常 见的土建厚墙配置钢框的钢板式屏蔽结构，门厚墙厚，施工难度大，建造周期 长，而且成本高。若要在这种屏蔽环境中建立洁净环境，其所需的费用以及建 造难度是可想而知的。换个角度，若要在洁净室中建立独立的屏蔽室，其难度 同样很大，这是因为洁净室内的各种管道、过滤装置、接缝等处的工艺处理具 有比较特殊的要求，通常无法满足屏蔽室所要求的屏蔽连续性，难以实现屏蔽 功能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种同时具备电磁屏蔽室功能的洁净室。

为达到上述发明目的，本发明采取了如下的技术方案：

一种洁净室，包含：围成该洁净室的墙体、开设在所述墙体上的门和管道。 所述墙体包含至少一连续的金属屏蔽壳体。所述门包含至少一连续的第三屏蔽 体，当所述门关闭时，该第三屏蔽体的整条边界均与所述屏蔽壳体相能导电地 接触。所述管道内设置有将该管道的管路截面完整覆盖住的截止波导窗，该截 止波导窗的整圈边界均与所述屏蔽壳体相能导电地接触；

在所述洁净室的墙体内安装有滤波器，所述洁净室还包含：经由所述滤波 器穿过所述屏蔽壳体的电线和电缆。

所述洁净室还包含嵌在所述墙体或所述门内的窗，该窗包含至少一层透明 窗板以及完整覆盖住所述窗板的至少一片金属网，该金属网的整条边界均与所 述屏蔽壳体或所述第三屏蔽体相能导电地接触。

所述屏蔽壳体包含相互拼接的多块彩钢板，每块所述彩钢板的整条边界均 与和该彩钢板相邻接的另一块彩钢板相能导电地接触。相邻接的所述彩钢板之 间以无缝连续焊接的方式相固定连接。所述的墙体包含侧壁和天花板，所述侧 壁与所述天花板之间通过具备U形槽的钢座相固定连接，所述钢座以无缝连续 焊接的方式固定在所述天花板上，所述侧壁的整圈上边缘全部插入所述的U形 槽内。所述的墙体包含侧壁和地板，所述侧壁与所述地板之间通过具备U形槽 的钢座相固定连接，所述钢座以无缝连续焊接的方式固定在所述地板上，所述 侧壁的整圈下边缘全部插入所述的U形槽内。所述U形槽与所述侧壁之间填充 有导电密封胶。所述地板的边缘朝上方弯折形成直角翻边，所述钢座固定在所 述翻边的内侧。

所述的屏蔽壳体接地。

由于上述技术方案的运用，本发明具有如下优点：

1、选用在洁净室建造领域中属于通用墙体材料的金属板材作为建造屏蔽壳 体的主要材料，仅通过对墙体接缝处以及各零部件的安装结构进行导电与密封 处理，就能使洁净室墙体本身起到屏蔽电磁波的作用。此法所选用的墙体材料 成本远低于建造传统电磁屏蔽室所需的材料成本。

2、洁净室在起到密闭洁净作用的同时也起到了屏蔽室的作用，无需再在洁 净室内部或外部建造另一层屏蔽室，建造成本也大幅度降低，同时大大降低了 施工难度。