[发明专利]一种半导体激光器准直透镜制作装置无效
| 申请号: | 200810233921.7 | 申请日: | 2008-12-17 |
| 公开(公告)号: | CN101442181A | 公开(公告)日: | 2009-05-27 |
| 发明(设计)人: | 王克逸;詹珍贤;丁志中;姚海涛 | 申请(专利权)人: | 中国科学技术大学 |
| 主分类号: | H01S5/14 | 分类号: | H01S5/14 |
| 代理公司: | 合肥金安专利事务所 | 代理人: | 金惠贞 |
| 地址: | 230026*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 半导体激光器 透镜 制作 装置 | ||
1.一种半导体激光器准直透镜制作装置,其特征在于:包括主框架、二维微调台(1)、环形紫外光源(2)、电极(6)、注射器(14)、光斑检测摄像机(8)和面形检测光路;
所述主框架由底部的方形底板(16),左部的左侧板(9),后部的后侧板(10)组成,左侧板(9)下部设有反光镜孔;主框架中部设有二维微调台(1),二维微调台(1)上设有环形紫外光源(2),二维微调台(1)中部设有半导体激光器(3),半导体激光器(3)位于环形紫外光源(2)中央,半导体激光器(3)的出光窗口位于顶面,准直透镜(4)位于半导体激光器(3)的出光窗口;
所述环形紫外光源(2)环壁下部均布设有两个以上的门形缺口,环壁内侧面均布设有三个以上紫外发光二极管;左侧板(9)的反光镜孔位于环形紫外光源(2)环壁下部左侧的门形缺口处;
所述二维微调台(1)右部设有白光光源(15),白光光源(15)位于环形紫外光源(2)环壁下部右侧的门形缺口处,与白光光源(15)对应在左侧板(9)的反光镜孔外侧设有反光镜(5),反光镜(5)的上方设有镜头(17),镜头(17)连接着面形检测摄像机(18),面形检测摄像机(18)安装在左侧板(9)外侧上部;
所述面形检测光路由所述的白光光源(15)、反光镜(5)、镜头(17)和面形检测摄像机(18)组成,且白光光源(15)、反光镜(5)、镜头(17)和面形检测摄像机(18)的光轴位于同一个垂直面内;
所述左侧板(9)内侧壁上部设有左侧板电动平移台(7),左侧板电动平移台(7)上设有光斑检测摄像机(8);所述后侧板(10)前侧壁上部设有后侧板电动平移台(11),后侧板电动平移台(11)上通过支架(12)设有可左右转动的电动转台(13),电动转台(13)位于二维微调台(1)的上方,电动转台(13)上设有电极(6)和注射器(14),且电极(6)和注射器(14)垂直位于二维微调台(1)上方,电极(6)位于光斑检测摄像机(8)的下方;所述电极(6)呈圆柱筒形,电极(6)的轴向中心线到电动转台(13)转动中心线的距离和注射器(14)轴向中心线到电动转台(13)转动中心线的距离相等;且所述的半导体激光器(3)、电极(6)、光斑检测摄像机(8)三者的轴向中心线重合。
2.根据权利要求1所述的一种半导体激光器准直透镜制作装置,其特征在于:所述电极(6)由上部的绝缘塑料圆筒和圆筒底部的导电玻璃粘合而成,导电玻璃为椭圆形,且长轴方向与半导体激光器(3)的慢轴方向一致,导电玻璃的上表面设有氧化铟锡镀层;电极(6)接0-5500V电压。
3.根据权利要求1所述的一种半导体激光器准直透镜制作装置,其特征在于:所述准直透镜(4)材料为经紫外光照射能固化的光敏胶。
4.根据权利要求1所述的一种半导体激光器准直透镜制作装置,其特征在于:所述环形紫外光源(2)的环壁内侧均布设有3-8个紫外发光二极管,发光波长365nm。
5.根据权利要求1所述的一种半导体激光器准直透镜制作装置,其特征在于:所述二维微调台(1)在水平面两个方向每个方向的移动分辨率为0.001-0.1mm,每个方向的移动行程为5-30mm。
6.根据权利要求1所述的一种半导体激光器准直透镜制作装置,其特征在于:所述左侧板电动平移台和后侧板电动平移台的型号均为GCD-104100M的电控平移台,行程100mm,分辨率0.001mm。
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