[发明专利]一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法。

背景技术

OLED(有机发光显示器)是一种新型的显示器件，具有很多优异的显示性能，目前发展很快。典型的OLED器件结构如图1所示。玻璃基板上设置有ITO(氧化铟锡)阳极，ITO阳极表面镀制有机发光层，在有机发光层表面上再镀制上低功函数的阴极。在阳极和阴极上施加电压，空穴载流子从阳极注入发光层，电子从阴极注入发光层，空穴载流子和电子在发光层复合产生激子，激子退激发时辐射出可见光。

OLED显示器件发光层采用有机材料蒸镀的方法进行制作，如图2所示，玻璃基板放置在金属荫罩上方，ITO阳极与金属荫罩相对贴合在一起，金属荫罩是一张很薄的金属膜绷紧在金属框架上，金属膜厚度为数十微米，金属框架和金属薄膜由温度膨胀系数与显示器件用的玻璃基板温度膨胀系数相近的金属材料制成，金属框架一般为荫钢材料制成，金属薄膜可以采用镍或镍铬合金，金属膜上有不开窗的部分和开窗的部分，开窗部分与基板上需要蒸镀有机发光层的位置相对应，荫罩下方有坩埚，其中放置有发光材料，给坩埚加热，有机发光材料即被蒸发，有机发光材料蒸汽透过荫罩上开窗部位最终沉积在需要沉积发光层的地方。这种镀膜方式要求荫罩金属膜必须绷得很紧，而且荫罩中间部分不能有下垂，否则有机发光材料将透过基板和金属荫罩之间的空隙沉积在不需要的地方。

在生产过程中，进行一定数量产品的有机层蒸镀后，需要对金属荫罩进行清洗，否则金属荫罩表面将沉积过多的有机物，这些过多的有机物会堵塞金属荫罩上面的开窗，且在产生过程中有可能会发生脱落，对产品产生污染，使产品生产良率下降，造成产品生产成本上升和器件品质下降。因此需要对金属荫罩进行清洗。

常规的金属荫罩清洗方法是：在进行一定数量产品的有机膜层蒸镀之后，一般为数十片至一百片左右，将金属荫罩取下，浸泡在有机溶剂中，利用超声波使有机膜层与金属荫罩脱离。由于金属荫罩上的开窗很小，常规的清洗方式不易清洗干净，有机物的碎片易残留在金属荫罩的开窗内及金属薄膜和金属框架之间的缝隙内。这些有机物的碎片很容易造成下次蒸镀的不良。

发明内容

本发明的目的是提供一种有机发光显示器生产用的金属荫罩的清洗方法，通过臭氧和氧等离子处理，去除常规清洗方式容易造成的有机物细屑残留，同时在荫罩使用前对金属荫罩进行镀金处理，提高金属荫罩在进行臭氧处理和氧等离子处理的时候的耐氧化性能，提高金属荫罩的使用寿命。

为达到以上目的，本发明是采取如下技术方案予以实现的：

一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，包括下述步骤：

(1)采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗槽内，经过超声清洗10～30分钟，当金属荫罩开窗部分附着的有机物膜层溶解和脱落后，取出金属荫罩；

(2)将金属荫罩再浸入装有步骤(1)有机清洗溶剂的超声清洗槽内进行二次清洗，经超声清洗10～30分钟后取出，用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。

(3)将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，抽真空至1KPa以下，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧；或者将金属荫罩放入设有等离子发生器的真空干燥设备内，充入干燥空气或10～50KPa的氧气，使氧气反应生成臭氧或离子化生成氧离子，彻底去除金属荫罩经使用、清洗后残留的有机物。

上述方法中，所述金属荫罩使用前进行镀金处理：

首先将未使用过的金属荫罩浸入浓度为40％～50％的一乙醇胺或二乙醇胺水溶液的超声清洗槽内，超声清洗10至30分钟，然后换纯水进一步超声清洗，取出干燥；

接着将经过清洗的金属荫罩浸入纳米铂胶体溶液中，金属荫罩表面与铂胶体溶液完全接触后取出晾干；

将在纳米铂胶体溶液中处理过的金属荫罩浸入过氧化氢和氯化金混合溶液中化学镀5～10分钟，在铂纳米微粒催化作用下，过氧化氢还原了氯化金；将化学镀后的金属荫罩在100～250℃温度下加热30分钟，增强镀膜的附着性。