[发明专利]一种真空紫外灯电离装置无效

专利信息
申请号: 200810229975.6 申请日: 2008-12-19
公开(公告)号: CN101752174A 公开(公告)日: 2010-06-23
发明(设计)人: 吴庆浩;李海洋;侯可勇 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J29/26
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 马驰;周秀梅
地址: 116023 *** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 紫外 电离 装置
【权利要求书】:

1.一种真空紫外灯电离装置,其特征在于:包括一电离腔(2),在 电离腔(2)上方安装有作为电离源的真空紫外灯(1),在距真空紫外灯 (1)窗口下方1-4mm处设置有一推斥板(3),

在距离推斥板(3)正下方10-30mm处设置有一聚焦环(5),聚焦环 (5)为中间开孔的圆板,孔径为4mm-10mm,并与推斥板(3)同轴;

在聚焦环(5)的正下方1-4mm处设有一小孔板(7),小孔板(7)为 中间开孔的圆板,孔径为0.4mm-2mm,并与推斥板(3)同轴;

在小孔板(7)正下方1-4mm处设有同轴的三个透镜(8),与推斥板(3) 同轴;

在聚焦环(5)、小孔板(7)及透镜(8)之间分别设有1-3mm厚的绝 缘密封垫阻隔;

一进样毛细管(4)将气体样品从电离室的一侧引入真空紫外灯(1) 前端的窗口下方进行电离,真空紫外灯(1)的光轴同气体样品的进样方向 相垂直;

推斥板(3)、聚焦环(5)、小孔板(7)及透镜(8)与真空紫外灯(1) 的光轴同轴;在透镜(8)的正下方设置有一质量分析器(9)。

2.根据权利要求1所述装置,其特征在于:在电离腔(2)的侧壁上 设置有泵接口(6)。

3.一种权利要求1所述装置的操作方法,其特征在于:在推斥板(3) 上施加5-60V的电压;在聚焦环(5)上施加的电压为推斥板电压的60-95%。

4.根据权利要求3所述装置的操作方法,其特征在于:在真空紫外光 电离模式下,于小孔板(7)上施加的电压为0V。

5.根据权利要求3所述装置的操作方法,其特征在于:在真空紫外光 和电子碰撞电离模式下,于小孔板(7)上施加的电压为-10~-150V。

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