[发明专利]高黏度精密胶泵

说明书

技术领域：

本发明涉及应用于PI(聚酰亚胺)及高黏度光刻胶等高黏度特种胶液的精密 供液系统，具体为一种高黏度精密胶泵。

背景技术：

随着集成电路制造技术的高速发展，高密度封装技术、MEMS(微电子机械系 统)等高新技术得到迅速推广应用。在这些新的工艺技术当中要涂敷多种特殊化学 品，如PI(聚酰亚胺)、高黏度光刻胶等，其黏度都在3000cp以上，在使用普通 胶泵供胶时，由于其特殊的成份和化学性质很容易产生气泡，气泡一旦出现就很 难排除，这样在旋转涂敷过程中就会在基片表面产生大量微小缺陷，从而严重影 响产品质量。

如图1所示，普能胶泵主要包括：腔体1、出口单向阀2、入口单向阀3、活 塞4等，普通胶泵在供液时，是在一密闭腔体1内利用活塞4或者膜片先向后抽， 产生一定的负压，从而将胶液吸到腔体1内，然后再推活塞4或者膜片，将胶液 挤出。在胶泵的进口和出口各有一个单向阀：出口单向阀2、入口单向阀3，带有 复位弹簧。在吸胶时，入口单向阀3打开，出口单向阀2关闭。在打胶时，出口 单向阀2打开，入口单向阀3关闭，完成吸胶打胶过程。出口单向阀2、入口单 向阀3的打开是靠腔体1内的吸力或压力驱动胶液挤压弹簧来实现的。

经过多次试验发现，在涂PI时之所以会出现微小气泡，就是由于胶泵供胶 时，需要胶液不断挤压单向阀弹簧来进出胶泵，在这一过程中胶液反复受力，使 得其内部产生大量肉眼不可见的气泡。在旋转涂敷后，经过烘烤坚膜胶膜表面， 就会出现大量微小“麻点”，造成基片报废。

发明内容：

本发明的目的在于提供一种高黏度精密胶泵，解决普通胶泵在旋转涂敷后， 经过烘烤坚膜胶膜表面出现大量微小“麻点”等问题。

本发明的技术方案是：

一种高黏度精密胶泵，胶泵两侧设有胶泵进口和胶泵出口，胶泵内的腔体中 设置活塞，该胶泵的胶泵进口和胶泵出口处分别采用气动膜片密封机构，气动膜 片密封机构设有气动活塞、膜片和复位弹簧，气动活塞一端与膜片相连，气动活 塞另一端安装复位弹簧，气动膜片密封机构的膜片与胶泵进口或胶泵出口相对应， 气动活塞所在的腔体分别开有进气口。

所述的高黏度精密胶泵，活塞的活塞杆与伺服电机连接。

所述的高黏度精密胶泵，伺服电机与可编程控制器相连。

所述的高黏度精密胶泵，气动膜片密封机构的进气口分别连至两位五通电磁 阀的出口端。

所述的高黏度精密胶泵，两位五通电磁阀与可编程控制器相连。

所述的高黏度精密胶泵，可编程控制器与液晶显示屏连接。

所述的高黏度精密胶泵，活塞的活塞杆外侧装有密封圈，密封圈采用氟树脂 材料。

本发明的有益效果是：

1、本发明高精度胶泵的进口和出口处采用了气动膜片密封机构，在吸胶打 胶时，可通过气控自动打开或关闭，这样胶液在进出胶泵腔体时，就不在有阻碍， 从而不会出现微小气泡，经过试验该胶泵完全能满足需要。

2、本发明为了能做到适应高黏度精确供胶，该胶泵采用进口伺服电机来驱 动活塞杆，控制精度高，供胶量调整方便精确。

3、由于PI等化学品具有高腐蚀性，活塞杆采用陶瓷材料精密加工而成，高 精度无污染。

4、本发明胶泵内部的密封圈采用氟树脂材料，保证密封性能，同时耐腐蚀。

5、本发明胶泵的整体控制采用PLC，可以带有液晶显示屏，操作设定简单 方便。

6、本发明胶泵的进出口阀门由两位五通电磁阀驱动，开闭可由程序自动控 制。

附图说明：

图1为普通胶泵结构示意图。

图2为本发明胶泵结构示意图。

图中，1、腔体；2、出口单向阀；3、入口单向阀；4、活塞；5、气动活塞； 6、进气口；7、膜片；8、胶泵进口；9、胶泵出口；10、伺服电机；11、密封圈； 12、可编程控制器(PLC)；13、电磁阀；14复位弹簧；15滚珠丝杠。

具体实施方式：

如图2所示，本发明高黏度精密胶泵主要包括：腔体1、活塞4、气动活塞5、 进气口6、膜片7、伺服电机10、密封圈11、可编程控制器12、电磁阀13等， 具体结构如下：