[发明专利]干式真空泵

权利要求书

1.一种干式真空泵，包括底座、电机、转子和定子，其特征在于所述的转子由多级旋涡级转子组成，每一级旋涡级转子的外侧沿圆周方向设有环形凹槽，在凹槽里均匀分布有与凹槽等高的叶片；所述定子的圆周内侧设有旋涡槽，旋涡槽的级数与转子旋涡级的级数一致，旋涡槽内有一段升起的凸台，凸台位于每一级抽气压缩单元气体压缩终止处，截面形状为近半圆形，每一级旋涡槽与相对应的一级旋涡级转子构成一级抽气压缩单元；在相邻的两个压缩单元之间设有排气道，排气道位于定子圆周内侧相邻两个旋涡槽之间，所述的排气道是旋涡槽之间凹下去一部分自然形成，排气道作为上一级抽气压缩单元的排气口和下一级抽气压缩单元的进气口。

2.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于所述的凹槽截面形状为近半圆形。

3.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于所述的叶片个数至少为30个，叶片横截面形状为矩形或者弓形，其中弓形的开口方向与转子旋转方向一致。

4.根据权利要求1所述的干式真空泵，其特征在于所述的每一级旋涡槽的截面形状为近半圆形。