[发明专利]一种双控温氢氟酸气相刻蚀装置无效
| 申请号： | 200810225705.8 | 申请日： | 2008-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN101392374A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 刘泽文;张伟 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C23F1/12 | 分类号： | C23F1/12;H01L21/306 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市100*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双控温 氢氟酸 刻蚀 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种双控温氢氟酸气相刻蚀装置，其特征在于：该装置含有支架(9)、反应腔体(2)、设置在反应腔体内的样品台(4)、控温液体腔室(5)、加热装置以及控制显示装置；所述的反应腔体由反应腔体上盖和球状壁两部分组成；所述的控温液体腔室(5)上设有传输通道，所述的样品台(4)通过传输管道与控温液体腔室(5)相连通；所述的加热装置由分别设置在反应腔室和控温液体腔室下部的反应腔加热装置(7a)和控温液体腔加热装置(7b)组成；所述的控制显示装置由反应腔体控制显示装置(8a)和控温液体腔室控制显示装置(8b)组成；反应腔体上盖通过反应腔转轴(3)与所述的支架和球状壁铰链，控温液体腔室(5)通过控温液体腔转轴(6)与所述的支架铰链。
2.根据权利要求1所述的双控温氢氟酸气相刻蚀装置，其特征在于：所述的加热装置采用电热套。
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