[发明专利]一种小流量气体控制装置及使用方法

权利要求书

1.一种小流量气体控制装置，包括：气瓶(1)、管路(2)、手动阀门(3)、压力表(4)、减压器(5)、过滤器(7)、质量流量计(8)、电磁阀(9)、压力传感器(10)、温度传感器(11)。其特征在于：还包括换热器组件(6)和音速喷嘴组件(12)；气瓶(1)出口通过管路(2)依次连接与手动阀门(3)、减压器(5)、换热器组件(6)、过滤器(7)、质量流量计(8)、电磁阀(9)、音速喷嘴组件(12)，减压器(5)出入口分别引出支线管路连接压力表(4)及手动阀门(3)，两手动阀门后连接放气管路，音速喷嘴组件(12)之前管路中连入压力传感器(10)及温度传感器(11)，音速喷嘴组件(12)之后管路中连入压力传感器(10)。

2.根据权利要求1所述的一种小流量气体控制装置，其特征是：换热器组件由贮水箱、箱盖、可拆换螺旋形紫铜管、电加热管组成、水阀，电加热管位于水箱底部，螺旋形紫铜管位于水箱中部，水箱外壁低位安装有水阀，螺旋形紫铜管通过管路固定于箱盖上并在箱盖外侧留有出入接口，箱盖上留有活门。

3.根据权利要求1所述的一种小流量气体控制装置，其特征是：音速喷嘴组件由接管嘴、外套螺母、垫片、音速喷嘴、连接套管组成。音速喷嘴采用固定式收敛结构，装卡于连接套管内。利用外套螺母将接管嘴及连接套管紧固，音速喷嘴与接管嘴及连接套管间安装垫片。

4.一种用于权利要求1所述的装置控制流量的方法，该方法的操作步骤如下：

第一步，流量控制操作前先确保换热器处于正常工作状态；

第二步：确定初调压力大小；

第三步：根据控制流量要求、初调压力值及气体初温值确定音速喷嘴喉部尺寸；

第四步：安装音速喷嘴；

第五步：初调压力；

第六步：细调压力。