[发明专利]一种光刻物镜

权利要求书

1、一种光刻物镜，其特征在于包括有依次装设的物面(10)，第一透镜(1)，用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第一棱镜(7)，第二透镜(2)，第三透镜(3)，光阑(8)，第四透镜(4)，第五透镜(5)，用于改变物与像的方向、使其物与像的方向一致的第二棱镜(9)，第六透镜(6)，像面(11)，其中第一透镜(1)与第六透镜(6)的结构完全相同，第二透镜(2)与第五透镜(5)的结构完全相同，第三透镜(3)与第四透镜(4)的结构完全相同。

2、根据权利要求1所述的光刻物镜，其特征在于上述第一棱镜(7)为屋脊棱镜。

3、根据权利要求1所述的光刻物镜，其特征在于上述第二棱镜(9)为直角棱镜。

4、根据权利要求1所述的光刻物镜，其特征在于上述光阑(8)中间一段是平行光路，其中能插入分光镜。

5、根据权利要求1至4任一项所述的光刻物镜，其特征在于上述第一透镜(1)，第二透镜(2)，第三透镜(3)，第四透镜(4)，第五透镜(5)，第六透镜(6)均为球面透镜。

6、根据权利要求5所述的光刻物镜，其特征在于上述物镜的工作波长为351nm，数值孔径为0.025，像方视场为50mm×50mm。