[发明专利]用于进行石英增强的光声光谱测量的方法和气体传感器

权利要求书

1.一种用来对气体进行石英增强的光声光谱测量的方法，包括

提供光源(1)，所述光源被配置成将具有至少一个波长的激光束(2)引 入该气体内以致在该气体内的至少一个分子被激发产生声信号，

在谐振声检测器(3)中积聚该声信号；

通过作为谐振声检测器的至少一个音叉(3)产生谐振吸收信号(S_A)， 该谐振吸收信号与气体浓度有关，

其特征为，

另外产生谐振强度信号(S_I)，该谐振强度信号与通过气体的激光束(2) 的强度成比例，

提供输出信号(S_GC)，该输出信号来自所述的谐振吸收信号(S_A)和所 述的谐振强度信号(S_I)并且和光的强度无关，与气体的存在或浓度有关，

通过使光在所述的至少一个音叉(3)的音叉臂(8)间通过，产生所述 的谐振吸收信号(S_A)，以及

由所述的至少一个音叉(3)通过解谐光源(1)使光主要入射在所述至 少一个音叉(3)的音叉臂(8)上，来产生所述的谐振强度信号(S_I)。

2.一种用来对气体进行石英增强的光声光谱测量的方法，包括

提供光源(1)，所述光源被配置成将具有至少一个波长的激光束(2)引 入该气体内以致在该气体内的至少一个分子被激发产生声信号，

在谐振声检测器(3)中积聚该声信号；

通过作为谐振声检测器的至少一个音叉(3)产生谐振吸收信号(S_A)， 该谐振吸收信号与气体浓度有关，

其特征为，

另外产生谐振强度信号(S_I)，该谐振强度信号与通过气体的激光束(2) 的强度成比例，

提供输出信号(S_GC)，该输出信号来自所述的谐振吸收信号(S_A)和所 述的谐振强度信号(S_I)并且和光的强度无关，与气体的存在或浓度有关，

通过使光在所述的至少一个音叉(3)的音叉臂(8)间通过，产生所述 的谐振吸收信号(S_A)，以及

由至少一个第二音叉(6)产生所述的谐振强度信号(S_I)，所述至少一 个第二音叉与现在作为第一音叉的所述至少一个音叉(3)串联地布置，使得 光主要入射在所述至少一个第二音叉(6)的音叉臂(8)上。

3.根据权利要求2的方法，其特征为

将光源(1)调谐到所述至少一个第一音叉(3)的谐振频率来测量气体 浓度，以及

分开地将光源(1)调谐到所述至少一个第二音叉(6)的谐振频率来测 量激光强度。

4.根据权利要求2的方法，其特征为

在所述至少一个第一音叉(3)和所述至少一个第二音叉(6)之间提供 光学窗(11)。

5.根据前述权利要求2的方法，其特征为

将激光束(2)聚焦在所述至少一个第一音叉(3)的音叉臂(8)间的点 上，

将所述至少一个第二音叉(6)放在所述至少一个第一音叉(3)后面一 定距离处，以致在音叉臂(8)间的光强比入射在该音叉臂(8)的壁上的光 强低。

6.根据权利要求2的方法，其特征为

所述至少一个第二音叉(6)设置在所述至少一个第一音叉(3)的后面。

7.根据权利要求3的方法，其特征为

分开地调谐光源到所述至少一个第二音叉(6)的谐振频率的步骤是在将 光源调谐到所述至少一个第一音叉(3)的谐振频率之后。