[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，通过向基板照射光而对该基板进行加热，其特征在于，具有：

保持装置，其用于保持基板；

闪光灯，其用于对保持在所述保持装置上的基板照射光；

开关元件，其与所述闪光灯、电容器以及线圈串联连接；

脉冲信号发生装置，其产生包含一个以上的脉冲的脉冲信号并将该脉冲信号输出至所述开关元件，由此控制所述开关元件的驱动；

波形设定装置，其用于设定所述脉冲信号发生装置所产生的脉冲信号的波形。

2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，还具有波形输入部，所述波形输入部用于接收向所述波形设定装置进行的脉冲信号的波形的输入。

3.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，通过所述脉冲信号发生装置向所述开关元件输出脉冲信号，从而斩波控制所述闪光灯的发光，并且使所述闪光灯的发光时间大于等于1毫秒且小于1秒。

4.如权利要求1～3中任一项所述的热处理装置，其特征在于，

所述开关元件是晶体管，

所述脉冲信号发生装置向所述晶体管的栅极输出脉冲信号。

5.如权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，所述晶体管是绝缘栅双极型晶体管。

6.如权利要求1～3中任一项所述的热处理装置，其特征在于，所述开关元件是栅控晶闸管。

7.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，还具有电源部，所述电源部用于在所述电容器积累电荷。