[发明专利]用于获得与太赫兹波有关的信息的设备和方法

说明书

技术领域

本发明涉及获得与透射过样本或被样本反射的太赫兹波有关的信息的设备和方法。

背景技术

太赫兹波是具有从0.03THz到30THz的任意频带的电磁波。在太赫兹波段，发生依赖于包含生物分子的各种物质的结构和状态的特性吸收。利用这样的特征，开发了以无损方式分析和识别物质的检查技术。此外，期望应用于作为X射线的替代的安全成像技术或高速通信技术。

此外，太赫兹波的特性包括适中的穿透样本的能力。例如，公开了利用此性质来测量多层膜的膜厚度的技术(日本专利特开No.2004-28618)。根据日本专利特开No.2004-28618，基于多个太赫兹波脉冲响应，确定多层膜的膜厚度。这些脉冲响应是通过利用探测光对太赫兹波的时间响应波形进行采样而获得的。根据此方法，在所有测量时间区域上进行采样。

近年来，太赫兹波的此性质的一个应用是以无损方式测量或检查药片的产品质量的技术。例如，期望应用于用于测量或检查糖衣药片、涂膜药片等等的涂覆厚度的技术。这些涂覆厚度影响药片的分解性质或可溶解性。此外，药片是通过将粉末状的药剂和添加剂混合而形成的。由于该原因，应用于用于测量或检查相对于添加剂的药剂含量的均匀性的技术是所希望的。

这些特性特征直接影响药片的治疗效果。由于该原因，用于控制并维持药片的产品质量的技术是重要的。目前，为此目的，提取制造的药片的一部分，并进行无损检查。

根据日本专利特开No.2004-28618，寻求缩短测量多层膜的膜厚度所需的时间段的方法。

此外，在对于药片进行质量控制的情况下，代替抽样检查，将来，可能希望在制造工艺过程中实现持续的检查，以便可以检查所有的药片。为了进行这样的工艺检查，可能希望以无损方式测量并检查样本的方法，但是，还没有建立用于实现此的方法。具体来说，为了对药片进行工艺检查，从在短时间内处理大量样本的观点来看，在稍短的时间段内监视单一药片的状态的方法是理想的。

发明内容

本发明提供了能够获得设置的区域中的透射过样本或被样本反射的太赫兹波的时间波形的设备。此外，本发明提供了能够通过使用所述区域中的时间波形，从而与获得时间波形的所有区域的情况相比，缩短获得与样本相关的信息(膜厚度等等)所需的时间段的设备。

鉴于上述情况，根据本发明的一个方面的太赫兹波检测设备具有以下配置：用于从样本中检测太赫兹波的检测单元，以及用于预先存储变成样本标准的内部信息的信息存储单元。太赫兹波检测设备还包括延迟光学单元，用于通过改变入射到检测单元的探测光相对于泵浦光的延迟时间，调节操作检测单元的时间。太赫兹波检测设备还包括延迟时间调节单元，用于基于存储单元中的变成标准的信息来设置希望测量的测量区域，并调节测量区域中的延迟时间。太赫兹波检测设备还包括重构单元，用于基于检测单元的输出以及由延迟时间调节单元对延迟时间的调节量，重构有关样本的内部信息。

根据本发明的一个方面的太赫兹波检测方法具有以下步骤(a)到(e)：

(a)预先存储变成样本标准的内部信息；

(b)通过探测光的相对于泵浦光的延迟时间，调节检测步骤中的检测太赫兹波的定时；

(c)基于变成信息存储步骤中的标准的信息，设置希望测量的测量区域，并调节测量区域中的延迟光学步骤的延迟时间；

(d)从样本中检测太赫兹波；以及

(e)基于检测步骤中的输出以及延迟时间调节步骤中的调节量，重构有关样本的内部信息。

根据本发明的一个方面的检查系统具有以下配置：用于从样本中检测太赫兹波的检测单元，以及用于预先存储变成样本标准的内部信息的信息存储单元。该检查系统还包括延迟光学单元，该延迟光学单元用于调节入射到检测单元的探测光相对于泵浦光的延迟时间。该检查系统还包括延迟时间调节单元，该延迟时间调节单元用于基于存储单元中的变成标准的信息来设置希望测量的测量区域，并调节在测量区域中的探测光的延迟时间。该检查系统还包括处理单元，该处理单元用于基于检测单元的输出以及由延迟时间调节单元对延迟时间的调节量，重构有关样本的内部信息。该检查系统还包括比较单元，该比较单元用于将由处理单元获得的有关样本的内部信息与存储在信息存储单元中的变成样本标准的内部信息进行比较。该检查系统还包括设备控制单元，该设备控制单元用于基于比较单元的比较结果，对样本进行筛选，或调节样本的制造条件。