[发明专利]石英玻璃坩埚的制造方法

权利要求书

1、一种石英玻璃坩埚的制造方法，其为对充填在模具内面的石英粉成形 体抽真空的同时，通过电弧电极的电弧放电将石英粉成形体熔融的坩埚的制造 方法，其特征在于，从所述石英粉成形体的缘端开始石英粉的熔融，其后，降 下所述电弧电极或提起模具，对比所述石英粉成形体的所述缘端下侧的部分进 行加热熔融。

2、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，从所述石英粉成 形体的所述缘端开始石英粉的熔融，其后，依次加热石英粉成形体的壁部、弯 曲部和底部，将石英粉成形体的内面整个面密封。

3、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，在从电弧熔融开 始到电弧总时间的10％以内的时间内，将石英粉成形体的内面整个面密封。

4、如权利要求3所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，使直到石英粉成 形体的内面整个面被密封所熔融的石英玻璃层的厚度为3mm以下。

5、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，在开始熔融所述 石英粉成形体的所述缘端的时刻，以沿模具的轴线方向的距离计，所述电极的 下端位于比所述石英粉成形体的所述缘端高要制造的石英玻璃坩埚的口径的 20～150％的位置，在所述石英粉成形体的内面整个面上密封层形成结束的时 刻，以沿模具的轴线方向的距离计，所述电极的下端位于比石英粉成形体的缘 端低要制造的石英玻璃坩埚的口径的-30～40％的位置。

6、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，从所述缘端熔融 开始的时刻到密封层形成结束的时刻的所述电极和所述模具沿轴线方向的相对 移动量为要制造的石英玻璃坩埚的口径的0～100％。

7、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，从所述缘端熔融 开始的时刻到密封层形成结束的时刻的石英粉成形体的熔融厚度为0.05mm～ 3mm。

8、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，从所述缘端的熔 融开始的时刻到密封层形成结束的时刻的时间为从缘端熔融开始的时刻到电弧 放电结束的电弧总时间的0.01％～10％。

9、如权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，在制造所述石英 玻璃坩埚后，进一步具有使石英玻璃层的气泡中的气体脱气的加热工序。

10、如权利要求9所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，所述加热工序 将电弧熔融工序后的石英玻璃坩埚在炉内在1600～2500℃加热0.2～2.0小时。