[发明专利]一种研磨颗粒及其制造方法和化学机械研磨液的制造方法

权利要求书

1、一种化学机械研磨液用的研磨颗粒的制造方法，其包括：

准备原料前体；

干燥上述原料前体；和

利用与空气相比缺少氧气的气氛形成的煅烧炉来煅烧上述干燥的原料前体。

2、如权利要求1所述的方法，被干燥的上述原料前体的干燥率为30％至50％。

3、如权利要求1所述的方法，其中上述煅烧在10LPM至20LPM的氧气供给的条件下进行。

4、如权利要求1所述的方法，其中上述煅烧在500℃至900℃的温度下进行。

5、如权利要求1所述的方法，其中上述原料前体包括铈碳酸盐。

6、一种化学机械研磨液的制造方法，其包括：

在准备原料前体且干燥上述原料前体后，利用与空气相比缺少氧气的气氛形成的煅烧炉来煅烧上述干燥的原料前体以准备研磨颗粒；

通过混合上述准备的研磨颗粒、溶剂和分散剂准备研磨液制造用的混合物；

混炼上述研磨液制造用的混合物；

过滤上述混炼的研磨液制造用的混合物；和

在将上述过滤的研磨液制造用的混合物盛载在熟成机中后，熟成上述研磨液制造用的混合物。

7、如权利要求6所述的方法，进一步包括旋转上述熟成机。

8、如权利要求6所述的方法，其中上述过滤进行2至4个小时。

9、如权利要求6所述的方法，其中上述熟成进行2至4个小时。

10、如权利要求7所述的方法，在旋转上述熟成机的时候，以上述熟成机的外部旋转轴为准旋转上述熟成机。

11、如权利要求7所述的方法，其中上述熟成机以500RPM至20000RPM的旋转速度旋转。

12、如权利要求11所述的方法，其中上述熟成机以2000RPM至5000RPM的旋转速度旋转5分钟至15分钟。

13、如权利要求7所述的方法，其中上述过滤、上述熟成和上述熟成机的旋转重复实行至少两次。

14、一种根据权利要求1所述的方法来制造的且在根据X线衍射的XRD曲线图上主峰值与副峰值的比例为2至3的化学机械研磨液用的研磨颗粒。