[发明专利]输送系统

说明书

技术领域

本发明涉及输送绝缘性工件的输送系统。

背景技术

在例如薄型显示装置的制造工序等工序中，需要输送以玻璃基板为代表的绝缘性物品(工件)的技术。并且，输送此类工件的装置，一般可以使用在输送方向上排列了多个辊的传送带装置。

当在传送带装置中输送玻璃基板时，有时会随着与辊的摩擦在基板表面产生静电。在上述情况下，有时空气中的灰尘和垃圾(所谓的粒子)附着于基板表面或者基板电路产生缺陷。

以往为了解决上述的问题而提出有对基板进行除电的技术。例如在专利文献1中辊的至少与基板接触的部分由导电性柔软的部件形成，还将导电性柔软材料接地。

专利文献1：日本特开2002-274642号公报

然而，上述以往的传送带装置具有如下所示的问题。

即，即使使用导电性的辊也仅能对辊和基板接触部分除电。即，除电的程度不充分，因此无法避免上述问题。

另外，近年玻璃基板朝大型化发展，因此其有可能进一步增加带电量。

发明内容

本发明是解决上述以往课题的，其目的在于提供一种可以抑制输送绝缘体工件时的带电的输送系统。

技术方案1中所述的输送系统是输送绝缘性工件的输送系统，具备托盘和多个辊。托盘载置工件。多个辊为输送托盘而排列并配置于输送方向。在辊和托盘中至少双方接触的接触部具有导电性。接触部接地。

在上述系统中，在输送托盘时，将托盘和辊的摩擦产生的静电更可靠地放电。即，抑制输送绝缘性工件时的带电。其结果是，例如难于发生粒子被吸引到工件上等问题。

技术方案2所述的输送系统中，在技术方案1的基础上，托盘是由导电性材料形成的。

在上述系统中，由于托盘是由导电性材料而形成的，因此能够将在辊直接接触部分以外蓄积的静电也进行放电。

技术方案3所述的输送系统，在技术方案1或2的基础上，辊是由含有规定量的导电性材料的树脂形成的。

在上述系统中，使用树脂制的辊，因此在输送时不易损伤托盘。

技术方案4所述的输送系统，在技术方案3的基础上，辊含有1～50wt％的导电性材料。

在上述系统中，可以充分地确保为抑制工件的带电量而辊所需要的导电性。

技术方案5中所述的输送系统，在技术方案4的基础上，辊含有1～30wt％的导电性材料。

在上述系统中，可以充分地确保为抑制工件的带电量而辊所需要的导电性。

根据本发明涉及的输送系统，能够抑制输送绝缘体工件时的带电。

附图说明

图1是本发明一实施方式的输送系统的外观图。

图2本发明一实施方式的输送系统的横剖视图。

图3是图1及图2所包含的辊周边的放大剖视图。

图4是由图1的输送系统输送的输送托盘的外观图。

图5是由图1的输送系统输送的输送托盘的俯视图。

图6是利用以往输送方法输送玻璃基板情况下的带电电位的测量结果。

图7是表示进行图6的测量时的速度曲线(无加减速度)的曲线图。

图8是表示进行图6的测量时的速度曲线(有加减速度)的曲线图。

图9是利用以往输送方法输送各种输送媒介情况下的带电电位的测量结果。

图10的(a)是表示进行图9的测量时SUS托盘的速度曲线的曲线图，图10的(b)是表示进行图9的测量时铝托盘的速度曲线的曲线图。

图11是改变托盘及辊的材质来测量情况下的带电电位的测量结果。

图12是将玻璃基板载置于铝托盘来输送情况下的带电电位的测量结果。

图13是表示进行图12的测量时的速度曲线(15m/min有加减速度)的曲线图。

图14是表示进行图12的测量时的速度曲线(30m/min有加减速度)的曲线图。

图15是表示进行图12的测量时的速度曲线(45m/min有加减速度)的曲线图。

图16是表示进行图12的测量时的速度曲线(45m/min无加减速度)的曲线图。

图17是本发明另一实施方式中的辊周边的放大剖视图。

附图文字：1...输送托盘(托盘)；2...外框；2a...框部件；4...横条；4a...载置销；11...外侧凸缘(接触部)；12...内侧凸缘；13...倾斜部；20...输送带；21...支承框；21a...主体；21b...支承腿；25...辊(接触部)；26...轴；100...输送系统。

具体实施方式