[发明专利]场发射电子器件有效
| 申请号: | 200810188684.7 | 申请日: | 2008-12-18 |
| 公开(公告)号: | CN101465259A | 公开(公告)日: | 2009-06-24 |
| 发明(设计)人: | 柳鹏;刘亮;姜开利;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号: | H01J31/12 | 分类号: | H01J31/12;H01J29/02;H01J29/04;H01J1/304 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 100084北京市海淀区清华园1*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 发射 电子器件 | ||
1.一种场发射电子器件,其包括:
一绝缘基底;
多个行电极引线与列电极引线分别平行且等间隔设置于绝缘基底上,该多 个行电极引线与多个列电极引线相互交叉设置,每两个相邻的行电极引线 与两个相邻的列电极引线形成一个网格,行电极引线与列电极引线之间电 绝缘;
多个电子发射单元,每个电子发射单元对应一个网格设置,每个电子发射 单元进一步包括间隔设置的一阴极电极与一阳极电极,且该阳极电极和阴 极电极分别与上述行电极引线与列电极引线电连接,以及一阴极发射体, 该阴极发射体与阴极电极电连接;
其特征在于,所述阴极发射体与阳极电极间隔设置,从一碳纳米管阵列拉 取获得一碳纳米管膜,该碳纳米管膜中包括多个首尾相连且定向排列的碳 纳米管,将该碳纳米管膜铺设覆盖于每一阴极电极与每一阳极电极,切割 碳纳米管膜,使阳极电极与阴极电极之间的碳纳米管膜断开,形成多个平 行排列的碳纳米管线固定于阴极电极上作为所述阴极发射体,所述阴极发 射体平行于阴极电极的上表面。
2.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述阴极发射体包括 两端,且一端与阴极电极电连接,另一端与阳极电极间隔设置。
3.如权利要求2所述的场发射电子器件,其特征在于,所述阴极发射体远离 阴极电极的一端指向阳极电极。
4.如权利要求2所述的场发射电子器件,其特征在于,所述阴极发射体远离 阴极电极的一端与阳极电极之间的间距大于等于1微米且小于等于1000微 米。
5.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述阴极发射体与绝 缘基底间隔设置。
6.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述每个碳纳米管线 作为阴极发射体的一个电子发射体。
7.如权利要求6所述的场发射电子器件,其特征在于,所述电子发射体之间 的间距为1微米~1000微米。
8.如权利要求6所述的场发射电子器件,其特征在于,所述电子发射体包括 一电子发射端,且该电子发射端为电子发射体远离阴极电极的一端。
9.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述碳纳米管线包括 多个首尾相连的碳纳米管。
10.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述碳纳米管的长度 为10微米~100微米,直径小于15纳米。
11.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述行电极引线与列 电极引线交叉处设置有一介质绝缘层。
12.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述多个电子发射单 元对应网格设置成一阵列,且设置于同一行的电子发射单元的阳极电极与 同一个行电极引线电连接,设置于同一列的电子发射单元的阴极电极与同 一个列电极引线电连接。
13.如权利要求1所述的场发射电子器件,其特征在于,所述每个电子发射单 元进一步包括一固定件位于阴极电极上。
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