[发明专利]预加应力可调节压电夹持装置

权利要求书

1.一种预加应力可调节压电夹持装置，其包括：

基座，其具有表面；

第一滑动结构，其设置于所述表面的上方且实质上平行于所述表面；

夹持取放单元，其具有第一夹持取放元件和第二夹持取放元件，所述第一夹持取放元件具有第一杆部和第一夹持部，所述第一滑动结构用以导引所述第一杆部，所述第二夹持取放元件设置于所述表面的上方且相对于所述第一夹持取放元件；

压电单元，其具有至少一压电元件和至少一基板，所述压电元件具有第一侧面、第二侧面和两个电极，所述第一侧面设置于所述基板的一侧面，所述第二侧面垂直于所述第一杆部的轴向延伸方向，所述电极分别设置于所述第一侧面和所述第二侧面；

力感测单元，其设置于所述基板的另一侧面；以及

预加应力装置，其连接所述力感测单元，用以提供预加应力，使所述压电元件接触所述第一杆部。

2.根据权利要求1所述的压电夹持装置，其中所述基座具有第一柱体，所述滑动结构设置于所述第一柱体。

3.根据权利要求1所述的压电夹持装置，其中所述第一滑动结构是线性精密滑轨。

4.根据权利要求2所述的压电夹持装置，其中所述基座另外包括第二柱体，所述第二夹持取放元件设置于所述第二柱体。

5.根据权利要求4所述的压电夹持装置，其另外包括第二滑动结构，所述力感测单元具有两个力感测元件，所述压电单元具有两个压电元件，所述第二滑动结构设置于所述第二柱体且实质上平行于所述表面，所述第二夹持取放元件具有第二杆部和第二夹持部，所述第二滑动结构用以导引所述第二杆部，所述第二夹持部相对于所述第一夹持部，所述压电元件分别接触所述第一杆部和所述第二杆部，所述力感测元件分别相对于所述压电元件。

6.根据权利要求5所述的压电夹持装置，其中所述压电单元具有两个基板，每一基板设置于相对的压电元件与力感测元件之间。

7.根据权利要求5所述的压电夹持装置，其中所述第一滑动结构和所述第二滑动结构是线性精密滑轨。

8.根据权利要求1所述的压电夹持装置，其中所述力感测单元是力规。

9.根据权利要求1所述的压电夹持装置，其中所述预加应力装置是气压装置、油压装置或弹簧压力装置。

10.根据权利要求1所述的压电夹持装置，其另外包括控制单元，连接所述力感测单元和所述预加应力装置，用以根据所述力感测单元的反馈力信号控制所述预加应力装置，以调控所述预加应力。

11.根据权利要求1所述的压电夹持装置，其中所述压电元件的所述电极接受单相驱动信号，以使所述压电元件产生纵向效应、横向效应和剪向效应。

12.根据权利要求11所述的压电夹持装置，其中所述单相驱动信号是方波周期性信号、锯齿波周期性信号或弦波周期性信号。