[发明专利]一种利用定向分子流校准方向规的方法有效
| 申请号： | 200810186288.0 | 申请日： | 2008-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101458143A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;张涤新;李得天;成永军;赵澜;孙海;马寅光;盛学民 | 申请（专利权）人： | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京理工大学专利中心 | 代理人： | 张利萍 |
| 地址： | 73000*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 利用 定向 分子 校准 方向 方法 | ||
1.一种利用定向分子流校准方向规的方法，其特征在于包括下列步骤：
步骤一、对校准室、稳压室、上游室和连接管道进行抽真空操作；
步骤二、向稳压室中充入单一成分的气体，并使气体以恒定流量流入上游室，然后通过上游室与校准室间的小孔，将气体引入校准室；在小孔与抽气口间形成了定向分子流；
步骤三、待上游室的气体压力稳定后，测量上游室压力Pf，通过下式获得方向规平衡室中的标准压力P；
其中，Ps为校准室的真空度，ra为小孔的半径，re为方向规入口的半径，L为小孔距方向规入口的距离；
步骤四、读取方向规的示值压力p0，求出方向规的修正因子p0/p；
步骤五、改变上游室中气体的压力，重复步骤二至步骤四N次，根据N个方向规的修正因子p0/p，求出其平均值。
2.根据权利要求1所述的一种利用定向分子流校准方向规的方法，其特征在于：在步骤一中，对稳压室和连接管道抽真空后，稳压室和连接管道的真空度要小于1Pa，上游室中气体压力要小于1×10-2Pa，校准室中的气体压力要小于1×10-6Pa。
3.根据权利要求1所述的一种利用定向分子流校准方向规的方法，其特征在于：步骤二中稳压室气体压力在测量过程中压力变化要小于0.1％。
4.根据权利要求1所述的一种利用定向分子流校准方向规的方法，其特征在于：步骤三中方向规入口法线与定向分子流轴线的夹角要小于1°。
5.根据权利要求1所述的一种利用定向分子流校准方向规的方法，其特征在于：在步骤五中，重复执行步骤二至步骤四的次数不少于6次。
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