[发明专利]制作彩色滤光触控基板的方法

权利要求书

1.一种制作彩色滤光触控基板的方法，该彩色滤光触控基板对应于薄膜晶体管基板而设置，且该彩色滤光触控基板与该薄膜晶体管基板之间设置有显示介质层，该方法包括：

提供透明基板；

于该透明基板面向该薄膜晶体管基板的一侧依序形成第一透明导电层与辅助电极层；

图案化该第一透明导电层与该辅助电极层，以使该第一透明导电层形成至少两个第一透明感测垫及至少两个第二透明感测垫，以及使该辅助电极层形成至少两个第一图案化辅助电极及至少两个第二图案化辅助电极，且该至少两个第一透明感测垫与该至少两个第二透明感测垫电性绝缘，而该至少两个第一图案化辅助电极接触且电性连接至该至少两个第一透明感测垫，以及该至少两个第二图案化辅助电极接触且电性连接至该至少两个第二透明感测垫，且该至少两个第一图案化辅助电极与该至少两个第二图案化辅助电极电性绝缘；以及

于该透明基板面向该薄膜晶体管基板的该侧形成黑色矩阵，以覆盖部分该至少两个第一透明感测垫、部分该至少两个第二透明感测垫、该至少两个第一图案化辅助电极、该至少两个第二图案化辅助电极及部分该透明基板，其中黑色矩阵是由绝缘材料所构成。

2.如权利要求1所述的方法，还包括：

于该黑色矩阵上形成多个彩色滤光片；

于所述多个彩色滤光片上形成平坦层；以及

于该平坦层上形成第二透明导电层。

3.如权利要求1所述的方法，其中图案化该第一透明导电层与该辅助电极层的步骤包括利用灰阶光掩模、半色调光掩模、或是相位移光掩模进行曝光工艺。

4.如权利要求1所述的方法，其中图案化该第一透明导电层与该辅助电极层的步骤包括利用多个光掩模进行多个曝光工艺。

5.如权利要求1所述的方法，其中图案化该第一透明导电层与该辅助电极层的步骤包括形成至少一个第一桥接结构，且该至少一个第一桥接结构电性连接该至少两个第一透明感测垫。

6.如权利要求5所述的方法，其中于形成该至少一个第一桥接结构的步骤之后，该方法包括：

形成至少一个图案化绝缘层，设置于该至少一个第一桥接结构上；

形成至少一个第二桥接结构，该至少一个第二桥接结构跨越该至少一图案化绝缘层而电性连接该至少两个第二透明感测垫。

7.如权利要求5所述的方法，其中于形成该至少一个第一桥接结构的步骤之后，该方法包括：

形成绝缘层，覆盖于该至少两个第一透明感测垫、该至少两个第二透明感测垫、该至少一个第一桥接结构、该至少两个第一图案化辅助电极与该至少两个第二图案化辅助电极上，且该绝缘层具有多个开口暴露出部分的该至少两个第二透明感测垫；

形成至少一个第二桥接结构，该至少一个第二桥接结构通过所述多个开口而电性连接于该至少两个第二透明感测垫。

8.如权利要求1所述的方法，其中于图案化该第一透明导电层与该辅助电极层的步骤包括形成至少一个对位标记。