[发明专利]光波干涉测量装置

权利要求书

1.一种光波干涉测量装置，其特征在于，具备：

光束分离合成机构，将来自光源的光束分为两部分，将一部分作为朝向被验体方向的第1光束，并且，将另一部分作为朝向参照体方向的第2光束，将上述第1光束的来自上述被验体的返回光和上述第2光束的来自上述参照体的返回光合成为干涉光，在被配置于规定位置的摄像体上形成基于上述被验体的表面形状信息的干涉条纹图像；

第1球面基准透镜，配置在上述光束分离合成机构和上述被验体之间且将与上述被验体相对的面作为第1基准球面，以使来自上述光束分离合成机构的上述第1光束入射到上述被验体的表面，并且使从上述被验体的表面反射的上述第1光束返回上述光束分离合成机构；和

第2球面基准透镜，配置在上述光束分离合成机构和上述参照体之间且具备与上述参照体相对的面是与上述第1基准球面相同的曲率的第2基准球面，以使来自上述光束分离合成机构的上述第2光束入射到上述参照体的表面，并且使从上述参照体的表面反射的上述第2光束返回上述光束分离合成机构；

上述被验体是应测量表面形状的非球面光学元件，上述参照体呈应作为上述被验体的基准的形状的非球面光学元件。

2.根据权利要求1所述的光波干涉测量装置，其特征在于，

上述光波干涉测量装置为等光程长型的麦克尔逊型。

3.根据权利要求1或2所述的光波干涉测量装置，其特征在于，

上述第1光束和上述第2光束通过光反射和光透射得以分离并合成的上述光束分离合成机构的分离面被设置在分光镜的单面，

上述分光镜构成为剖面是楔形状的板状。

4.根据权利要求3所述的光波干涉测量装置，其特征在于，

在上述分光镜的上述单面侧所射出的光束的光路中所配置的上述第1球面基准透镜和上述分光镜之间，配置有对上述第1光束和上述第2光束的光程长的差进行补偿的补偿板。

5.根据权利要求1或2所述的光波干涉测量装置，其特征在于，

在上述参照体的表面附设有可变形镜。