[发明专利]洁净空气吹出供给用的箱形单元装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于从顶棚面向安装有精密仪器等的洁净 室内吹出供给洁净空气的箱形单元装置。

背景技术

以往用于从顶棚面向洁净室内吹出供给洁净空气的箱形单 元，与安装在洁净室内的半导体制造装置等设备的大小和排列 以及顶棚背面的结构相对应，将各种大小的箱形单元配设在顶 棚背面的整个面上，以便于向洁净室内吹出供给洁净空气。各 个箱形单元的代表性外形尺寸为610mm×1220mm、 750mm×1500mm、900mm×1500mm、750mm×1800mm、 1200mm×1200mm的纵横比，重量较重。

但是，由于多数情况下将用于吹出供给洁净空气的许多箱 形单元排列在安装于洁净室内的大小不同的生产设备或者半成 品暂时保管处的正上方，但也需要配合顶棚背面的箱形单元的 支撑框结构进行配设，因此，构成单元的外箱除了上述代表性 的大小之外，还必须制作比上述代表性箱形单元的大小大或小 几毫米至几厘米的外箱，并且根据各个外箱的大小分别安装吹 出输出大小不同的空气吹出设备，因此非常费时费力，因此， 为了形成多个箱形单元需要很多的时间，而且还不能预先作好， 因此存在屡次发生延期将箱形单元配设在顶板背面上这样的问 题。

此外，由于在大小不同的多个外箱的内部根据其大小安装 输出容量大小不同的交流电动机、控制器、大小不同的风扇， 因此出现了安装构件也很多种、安装作业人员的负担也很大这 样的问题。

此外，由于大小不同的各种箱形单元的出厂前的性能试验 也需要与其匹配的大型的试验装置，因此出现了难以处理这样 的问题。

发明内容

本发明通过在顶棚背面的整个面上配设用于吹出洁净空气 的大小不同的多个箱形单元而向该顶棚下的洁净室内吹出供给 洁净空气，在该箱形单元装置中形成有可安装在构成该箱形单 元的大小不同的各种外箱内的洁净空气吹出设备的通用型组 件，利用安装构件将该组件安装在大小不同的各种外箱内而形 成大小不同的各种箱形单元，从而解决了上述问题。

本发明由于形成有不降低吹出效率而能够将洁净空气吹出 设备安装在全部各种大小的外箱内的通用型组件，因此，能够 简单且快速地将吹出设备安装在大小不同的各种外箱内，从而 产生了消除延期的问题的效果。

由于组件是通用型的，因此也减少了作业人员的劳力负担， 产生了高效率地将组件安装在外箱内的效果。

由于洁净空气吹出供给用的箱形单元可以在组件安装在内 部之前以组件状态对组件进行出厂前的性能试验，因此产生了 能够使试验设备小型化并且容易处理的效果。此外，还产生了 能够以组件为单位保管大小不同的许多箱形单元的效果。

由于洁净空气吹出供给用的箱形单元将内部的吹出设备作 为通用型的组件，因此，可以与外箱同时地进行没有损失的库 存生产，从而产生了能够大幅度地降低成本的效果。

通过使组件内的电动机为具有带转速可变功能的控制设备 的直流电动机，从而产生了无论是否是通用型都不会降低洁净 空气吹出效率的效果。

附图说明

图1是表示组件的一个实施例的立体图以及该组件和大小 不同的外箱的例子的剖面图。

图2是表示将组件安装在外箱内的箱形单元的剖面图。

图3的(a)是表示将箱形单元并列配设在洁净室的顶棚背 面的一个例子的俯视图，图3的(b)是洁净室的剖面图。

具体实施方式

本发明在顶棚背面的整个面上配设用于吹出洁净空气的大 小不同的多个箱形单元，向该顶棚下的洁净室内吹出供给洁净 空气，在该箱形单元装置中形成有可安装在构成该箱形单元的 大小不同的各种外箱内的洁净空气吹出设备的通用型组件，利 用安装构件将该组件安装在大小不同的各种外箱内而形成大小 不同的各种箱形单元，从而形成了配设在顶棚背面的大小不同 的洁净空气吹出供给用的箱形单元。

安装在大小不同的各种外箱1a内的空气吹出设备由容易 进行内部安装的做成为侧面看为凸形形状的通用型组件2形 成。附图标记3是组件内的具有带转速可变功能的控制设备的 直流电动机，附图标记4是安装在该电动机3的旋转轴上的水平 旋转风扇，附图标记5是电动机的控制器。