[发明专利]热处理装置和使用该热处理装置的液化气体供应装置有效

专利信息
申请号: 200810184234.0 申请日: 2008-08-22
公开(公告)号: CN101431012A 公开(公告)日: 2009-05-13
发明(设计)人: 横木和夫;小浦辉政;木本雅裕 申请(专利权)人: 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 吴 鹏;牛晓玲
地址: 法国*** 国省代码: 法国;FR
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摘要:
搜索关键词: 热处理 装置 使用 液化 气体 供应
【权利要求书】:

1.一种热处理装置,其特征在于,使用单个制冷机系统来产生具有 不同温度的多种冷却介质,利用所述冷却介质在多个热处理部分实施冷却 处理或者加热处理,并且同时控制至少一种所述冷却介质的温度以便将其 用作所述热处理部分的热处理的基准冷源,其中,

所述热处理装置包括用于存储所述产生的多种冷却介质的冷却介质 罐,该冷却介质罐由多个多重结构的冷却介质槽组成,将最低温度的第一 冷却介质存储在最里面的第一冷却介质槽中,以从较低温度到环绕该较低 温度的较高温度的顺序以这种方式存储冷却介质,即使得倒数第二低的温 度的第二冷却介质存储在第二冷却介质槽中,倒数第三低的温度的第三冷 却介质存储在第三冷却介质槽中,倒数第n低的温度的冷却介质存储在第 n个冷却介质槽中,同时将冷却介质从所述冷却介质槽供应到所述热处理 部分。

2.如权利要求1所述的热处理装置,其特征在于,具有至少二个起 液化机构、存储机构和汽化机构作用的热处理部分,并且具有这样的功能, 该功能允许独立地和交替地在这些机构之间切换,利用所述第一冷却介质 作为用于该液化机构的热处理部分的冷源,利用所述第二冷却介质作为该 存储机构的热处理部分的冷源,同时利用所述第三冷却介质作为该汽化机 构的热处理部分的热源。

3.如权利要求2所述的热处理装置,其特征在于,当从其作为所述 液化机构或存储机构的功能切换到作为汽化机构的功能时,在切换后变为 可确保任何功能的状态时,预先切换所述第一至第三冷却介质的供应路线 或者预先切换到各功能的控制温度。

4.如权利要求2或3所述的热处理装置,其特征在于,利用来自所 述制冷机的散热部分的热量作为用于所述温度受控的冷却介质的温度调节 的热源。

5.如权利要求2或3所述的热处理装置,其特征在于,所述汽化机 构具有空隙,所述第三冷却介质可以这种方式通过该空隙流动,即接触存 储将要气化的目标气体的容器的外圆周和底部,同时在所述空隙的底侧具 有将所述第三冷却介质垂直喷射到所述容器底部的喷嘴。

6.一种液化气体供应装置,该液化气体供应装置通过管道系统以气 态将液化气体从填充有液化气体的容器供应到分开的气体消耗设备,其特 征在于,利用如权利要求1或2所述的任何热处理装置对通过所述管道供 应的气态液化气体进行液化处理和汽化处理,或者液化处理、存储处理和 汽化处理。

7.如权利要求6所述的液化气体供应装置,其特征在于,具有至少 两个所述热处理装置,利用在所述热处理装置中产生的具有不同温度的多 种冷却介质,利用第一热处理装置处的最低温度的冷却介质对所述气态液 化气体进行液化处理,或者利用倒数第二低的温度的冷却介质对液态液化 气体进一步进行存储处理,在另一热处理装置处利用比前面两种冷却介质 温度高的冷却介质对所述存储处理后的液化气体进行汽化处理,该液化气 体供应装置能够在所述液化处理、存储处理和汽化处理之间切换,并且在 所述切换的同时,具有能够在供给到所述第一热处理装置的冷却介质和供 给到所述另一热处理装置的冷却介质之间自动切换的冷却介质流路切换系 统。

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