[发明专利]准分子灯有效
| 申请号： | 200810183999.2 | 申请日： | 2008-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN101471226A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 小田史彦;森本幸裕 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | H01J65/00 | 分类号： | H01J65/00;H01J61/12;H01J61/30 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 谢丽娜;关兆辉 |
| 地址： | 日本国东京*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分子 | ||
【权利要求书】：
1.一种准分子灯，在发光管内封入有稀有气体与氟化物，在该发 光管的外表面至少配置有一方的电极，其特征在于：
上述发光管内的气体压力为总压力13.3kPa以上，
上述氟化物为六氟化硫、四氟化碳、或三氟化氮的任一种，上述 氟化物相对于总气体的摩尔比为0.001％至10％，
上述稀有气体由氩、氪、或氙的任一种与氦及/或氖构成，该氦及 /或该氖相对于稀有气体整体的摩尔比为90％至99.5％。
2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，上述发光管的材 料为以氧化铝(Al2O3)为主成分的蓝宝石或矾土、二氟化镁(MgF2)、氟 化锂(LiF)、二氟化钙(CaF2)、二氟化钡(BaF2)、或YAG(Yttrium Aluminium Garnet·钇铝石榴子石)。
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