[发明专利]同步带传动四工位平面研磨机

说明书

技术领域

本发明涉及一种平面研磨机，尤其是同步带传动四工位研磨机。

背景技术

超精密平面研磨技术在精密加工、超精密加工领域内占据着举足轻重的地位，几乎适合 于各种材料的加工，可以得到很高的尺寸精度和形状精度，甚至可以达到加工精度的极限， 研磨装置简单，不需要大量复杂的机械，并且不苛求设备的精度条件。研磨加工应用十分广 泛，成为机械密封的密封环、液压及气动控制件、单晶硅片、制作激光唱片、VCD光盘的模 具、量块工作面、电动机零件甚至以大规模集成电路为主的电子元件等零件精密加工的关键 技术。

目前，进行精密平面研磨的设备通常采用圆柱齿轮机构传动实现工件的行星运动，存在 重量大、振动噪声强烈等问题，特别是对于大回转半径的研磨机，由于所需圆柱齿轮直径很 大，造成整机重量很大，导致能量损耗高；而且，齿轮润滑所用的润滑剂也会对研磨液造成 污染。

发明内容

本发明为一种四工位的同步带传动平面研磨机，该机采用同步齿形带传动代替目前采用 的齿轮传动，实现研磨工件的行星运动轨迹，能够实现大回转半径的研磨，提高工件的研磨 效率；同时可以减轻整机重量，降低噪声、振动，省去齿轮的润滑过程，避免润滑剂泄漏对 研磨剂和环境造成的污染。该研磨机适用于轻型、高速、大回转半径的研磨加工中。

本发明的同步带传动四工位平面研磨机包括机架1、主轴2、中心同步带轮3、回转盘4、 同步齿形带9、11、12、15、四套研磨卡具组件等组成，四套研磨卡具沿圆周均布在回转盘4 上。中心同步带轮3固定在机架1下部。主轴2通过滚动轴承8支承在机架1的座孔内，回 转盘4固定在主轴2下端。每套研磨卡具组件由从动同步带轮、轴6、卡具7组成，通过滚 动轴承5支承在回转盘4上。中心同步带轮3通过同步齿形带9、11分别与第一从动同步带 轮16、第三从动同步带轮13相联，第一从动同步带轮16、第三从动同步带轮13通过同步齿 形带15、12分别与第二从动同步带轮14、第四从动同步带轮10相联。

本发明具有如下优点：(1)采用同步齿形带带动四套研磨卡具作自转和公转的行星运动， 实现工件的研磨运动，代替行星齿轮传动；(2)中心同步带轮与从动同步带轮齿数不同时， 工件研磨表面相对研磨盘的运动轨迹不同；两者相等时，研磨头带动工件作平面回转运动， 工件研磨表面各点的运动轨迹相同。

附图说明

图1是本发明的同步带传动四工位平面研磨机整体结构原理图；

图2是本发明的同步带传动四工位平面研磨机的同步带关系图。

具体实施方式

本发明的同步带传动四工位平面研磨机包括机架1、主轴2、中心同步带轮3、回转盘4、 同步齿形带9、11、12、15、四套研磨卡具组件等组成，四套研磨卡具沿圆周均布在回转盘4 上。中心同步带轮3固定在机架1下部。主轴2通过滚动轴承8支承在机架1的座孔内，回 转盘4固定在主轴2下端。每套研磨卡具组件由从动同步带轮、轴6、卡具7组成，通过滚 动轴承5支承在回转盘4上。中心同步带轮3通过同步齿形带9、11分别与第一从动同步带 轮16、第三从动同步带轮13相联，第一从动同步带轮16、第三从动同步带轮13通过同步齿 形带15、12分别与第二从动同步带轮14、第四从动同步带轮10相联。

工作时，外部电机驱动主轴2带着回转盘4，在机架1座孔内绕着主轴2中心线旋转。 回转盘4带着四套研磨卡具组件绕着中心同步带轮3回转，第一从动同步带轮、第三从动同 步带轮在同步齿形带9、11带动下绕着自己的轴线自转，同时绕着中心同步带轮公转。第二 从动同步带轮二、第四从动同步带轮在同步齿形带15、12带动下绕着自己的轴线自转，同时 也绕着中心同步带轮公转。研磨工件17安装在研磨卡具7上，绕着自己的轴线自转，同时绕 着主轴2的轴线公转，工件需要研磨的平面与研磨盘18接触进行研磨。