[发明专利]光学位置测量装置

权利要求书

1.光学位置测量装置，用于确定两个在测量方向（x）内相互运动的物体的相对位置，其中在至少一个规定的参考位置（X_REF）上可产生一个参考脉冲信号（RI），且该位置测量装置包括下列组成部分：

- 一个与两物体之一连接的并在参考位置（X_REF）上有一个参考标志（12.1）的比例尺（10），该参考标志由许多在测量方向（x）非周期设置的带有不同光学特性的区段组成，其中在测量方向（x）内邻接参考标志（12.1）两侧分别设置有附加结构（14），这种附加结构在测量方向（x）内延伸并把要产生的参考脉冲信号（RI）的辅助最大值降到最低；

- 一个在比例尺（10）对面在测量方向（x）内运动的扫描单元（20），该扫描单元与另一物体连接并带有

- 一个光源（23），

- 一个由单个探测元件（22.1~22.9）组成的参考脉冲探测装置（22），这些探测元件的几何配置与参考标志（12.1）匹配，以便产生参考脉冲信号（RI），

其特征为，

附加结构（14）包括至少两条带有第一光学特性的迹线（14.1、14.2），其间设置一个在测量方向（x）内延伸的带有第二光学特性的区段（14.3）。

2.按权利要求1的光学位置测量装置，其特征为，在测量方向（x）内延伸的区段（14.3）是这样设置在两条迹线（14.1、14.2）之间的，即通过区段（14.3）可把光线加到参考脉冲探测装置（22）的探测元件（22.1~22.9）上。

3.按权利要求1的光学位置测量装置，其特征为，按下列两个方案之一选择光学特性：

a) 第一光学特性是透光的；第二光学特性是不透光的；

b) 第一光学特性是高反射性的；第二光学特性是低反射性的。

4.按权利要求2的光学位置测量装置，其特征为，该比例尺（10）做成分度盘，该分度盘至少具有一条设置在其上的圆环形增量分度迹线（11）以及一条与之同心设置的参考标志迹线（12），其中在参考标志迹线（12）的至少一点设置有参考标志（12.1），并在参考标志迹线（12）的其余区域设置两条不透光的迹线（14.1、14.2），其间又设置一个在测量方向（x）内延伸的透光区段（14.3）。

5.按权利要求1的光学位置测量装置，其特征为，在所述附加结构（14）的迹线（14.1、14.2）中或所述附加结构（14）的区段（14.3）中还嵌入了多个矩形的不透光的减幅区（15），它们垂直于测量方向（x）延伸。

6.按权利要求5的光学位置测量装置，其特征为，嵌入所述附加结构（14）的迹线（14.1、14.2）中的或嵌入所述附加结构（14）的区段（14.3）中的减幅区（15）关于参考标志（12.1）镜像对称布置。

7.按权利要求5的光学位置测量装置，其特征为，附加嵌入所述附加结构（14）的迹线（14.1、14.2）中的或嵌入所述附加结构（14）的区段（14.3）中的减幅区（15）是这样布置的，即可使要产生的参考脉冲信号（RI）的辅助最大值进一步减幅。