[发明专利]可检测挠曲力量与电性的夹具有效
| 申请号： | 200810181063.6 | 申请日： | 2008-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101738345A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 温博浚;叶欣达;陈政宪;柯心怡;钟宗颖 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01N3/20 | 分类号： | G01N3/20;G01J1/00;G01J3/00;G01B11/16;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检测 挠曲 力量 夹具 | ||
1.一种可检测挠曲力量与电性的夹具组，用于夹持一基板，该夹具组包 含：
一第一夹具，包括：
一第一基座；
一第一夹持头，固定于该第一基座，该第一夹持头由一第一夹持片以及与 该第一夹持片结合的一第一固定片所组成；
一第一力量感测单元，固定于该第一基座且接触该第一夹持头；以及
一第二力量感测单元，固定于该第一基座且接触该第一夹持头；
一第二夹具，包括：
一第二基座；
一第二夹持头，固定于该第二基座，该第二夹持头由一第二夹持片以及与 该第二夹持片结合的一第二固定片所组成；
一第三力量感测单元，固定于该第二基座且接触该第二夹持头；以及
一第四力量感测单元，固定于该第二基座且接触该第二夹持头；
其中，该第一夹持头与第二夹持头上分别设有两个电极，且当该第一夹持 头与第二夹持头分别夹持住基板后，该电极与基板相接触。
2.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第一力量感测单元与该第二力量感测单元分别设置于第一基座的相对侧。
3.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第三力量感测单元与该第四力量感测单元分别设置于第二基座的相对侧。
4.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第一夹持片与第一固定片之间以螺栓固定。
5.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第一夹持片与第一固定片之间以扣具固定。
6.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第二夹持片与第二固定片之间以螺栓固定。
7.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第二夹持片与第二固定片之间以扣具固定。
8.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 还包含与该第一力量感测单元相连接的一第一微调单元。
9.如权利要求8所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第一微调单元以螺栓与该第一力量感测单元相连接。
10.如权利要求8所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第一微调单元安装于第一基座。
11.如权利要求1所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 还包含与该第二力量感测单元相连接的一第二微调单元。
12.如权利要求11所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第二微调单元以螺栓与该第二力量感测单元相连接。
13.如权利要求11所述的可检测挠曲力量与电性的夹具组，其特征在于， 该第二微调单元安装于该第一基座。
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