[发明专利]三维形貌检测装置有效
| 申请号： | 200810180153.3 | 申请日： | 2008-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN101750027A | 公开（公告）日： | 2010-06-23 |
| 发明（设计）人： | 王伟诚;郭世炫;陈金亮 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 三维 形貌 检测 装置 | ||
1.一种三维形貌检测装置，其特征在于，包含：
至少二光学检测装置；
一倾斜角度调整机构，将该至少二光学检测装置架设其上，以调整该至少二光学检测装置的倾斜角度，并且该倾斜角度调整机构为圆弧轨道；
其中当该至少二光学检测装置的倾斜角度改变时，该至少二光学检测装置的焦点维持在同一位置，并使待测物位于该至少二光学检测装置的视场范围内。
2.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该至少二光学检测装置设有枢纽，且利用该枢纽使得该至少二光学检测装置于圆弧轨道上移动，以调整该光学检测装置的倾斜角度。
3.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该圆弧轨道为一体成型。
4.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该倾斜角度调整机构为连杆机构、X-Y平面位移平台或旋转平台。
5.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：另包含方向角调整机构，以调整该待测物的方向角度。
6.根据权利要求5所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该方向角调整机构包含一移动平台及一旋转平台。
7.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该至少二光学检测装置各搭配一组马达、导螺杆及连接轴，以驱动该至少二光学检测装置的移动。
8.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该光学检测装置包含光学显微镜、干涉仪。
9.根据权利要求1所述的三维形貌检测装置，其特征在于：该光学检测装置的焦点维持在同一焦平面。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200810180153.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
