[发明专利]浆料供应系统

权利要求书

1.一种用于化学机械抛光装置的浆料供应系统，该浆料供应系统包含：

多个供应模块，每个供应模块包含：

浆料储槽；及

至少一输送线连接该浆料储槽，每条输送线为导向这些化学机械抛 光装置的其中之一；

浆料管线连接每条输送线与该浆料储槽；及

至少一浆料阀位在该浆料管线及该输送线连接处，每个浆料阀对应 这些输送线的其中之一，及

冲洗模块连接每个供应模块，该冲洗模块包含：

冲洗液储槽；

多条冲洗线连接至该冲洗液储槽，每条冲洗线连接这些输送线的其 中之一；及

至少一第一冲洗阀设置于每条冲洗线上，

其中该冲洗模块通过操作这些输送线的其中一条所对应的该第一冲洗 阀以选择性冲洗这些输送线的任一条。

2.如权利要求1所述的浆料供应系统，其中该浆料管线还包含第一浆料 线及第二浆料线用以交替式地将该浆料储槽的浆料供给这些输送线的其中 之一。

3.如权利要求2所述的浆料供应系统，其中该浆料管线还包含至少一条 分流线连接该第一浆料线和该第二浆料线，每条分流线对应该输送线的其中 之一。

4.如权利要求3所述的浆料供应系统，其中每个浆料阀设置在这些分流 线的其中之一上。

5.如权利要求1所述的浆料供应系统，其中该供应模块还包含从这些输 送线的其中一条分叉出来的至少一导管，每条导管位在对应至该条输送线的 该浆料阀的下游处，且每条导管上还装设输送阀用以排去泄漏物。

6.如权利要求1所述的浆料供应系统，其中该第一冲洗阀的其中之一为 三向阀，该三向阀位在这些输送线的其中之一与这些冲洗线的其中之一的连 接处。

7.如权利要求1所述的浆料供应系统，其中该冲洗模块还包含至少一第 二冲洗阀，每个第二冲洗阀位在这些第一冲洗阀的其中之一的上游处，且每 个第二冲洗阀具有通道用以排去泄漏物。

8.如权利要求1所述的浆料供应系统，其中该冲洗线及该输送线连接于 每个浆料阀的下游处。

9.如权利要求1所述的浆料供应系统，其中该多个供应模块相互独立， 以使来自这些浆料储槽的这些浆料各别地分布于各自所对应的该浆料管线 中而不相互流通。

10.一种用于化学机械抛光装置的浆料供应系统，该浆料供应系统包含：

多个供应模块，每个供应模块包含：

至少一输送线，每条输送线为导向这些化学机械抛光装置的其中之 一；

浆料储槽；

浆料管线连接每条输送线与该浆料储槽；及

至少一浆料阀位在该浆料管线及该输送线连接处，每个浆料阀对应 这些输送线的其中之一，及

冲洗模块连接每个供应模块，该冲洗模块包含：

多条冲洗线，每条冲洗线连接这些输送线的其中之一；及

至少一第一冲洗阀设置于每条冲洗线上，

其中该冲洗模块通过操作这些输送线的其中之一所对应的该第一冲洗 阀以选择性冲洗这些输送线的任一条。

11.一种用于化学机械抛光装置的浆料供应系统，该浆料供应系统包含：

供应模块，包含：

多条输送线，每条输送线为导向该化学机械抛光装置的其中之一；

浆料储槽；

浆料管线连接每条输送线与该浆料储槽；及

至少一浆料阀位在该浆料管线及该输送线连接处，每个浆料阀对应 这些输送线的其中之一，及

冲洗模块连接该供应模块，该冲洗模块包含：

多条冲洗线，每条冲洗线连接这些输送线的其中之一；及

至少一第一冲洗阀设置于每条冲洗线上，

其中该冲洗模块通过操作这些输送线的其中之一所对应的该第一冲洗 阀以选择性冲洗这些输送线的任一条。