[发明专利]压力变换器、监控压力变换器状态的方法以及压力传感器

权利要求书

1.一种用于压力传感器(2)的压力变换器(1)，所述压力传感器(2)用 于确定处理介质(3a，3b)中至少一个压力(p_a，p_b)，所述压力变换器(1)具 有带分离隔膜(5a，5b)的罩(4)、至少一个第一压力传感元件(6a，6b)、接 触介质(7a，7b)、至少一个第一连接元件(8a，8b)和至少一个第一密封件(9a， 9b)，其中，分离隔膜(5a，5b)将处理介质(3a，3b)与接触介质(7a，7b) 分离，接触介质(7a，7b)向第一压力传感元件(6a，6b)传送由分离隔膜(5a， 5b)确定的处理介质(3a，3b)的压力(p_a，p_b)，其中第一密封件(9a，9b) 收纳第一连接元件(8a，8b)，并且所述罩(4)、分离隔膜(5a，5b)和第一密 封件(9a，9b)形成第一压力室(10a，10b)，

其特征在于：

在与第一密封件(9a，9b)相对的第一压力室(10a，10b)的旁边提供第 二压力室(14)，以使得通过所述第一密封件(9a，9b)的所述处理介质(3a， 3b)不会立即与所述压力传感器(2)的电路部件接触，而是首先到达所述第二 压力室(14)，并且在所述第二压力室(14)中设置第二压力传感元件(15)，

所述第二压力室(14)具有第二密封件(16)，其中，在第二密封件(16) 中至少收纳一个第二连接元件(17)和第二压力传感元件(15)，并且通过第二 连接元件(17)接触第一压力传感元件(6a，6b)。

2.根据权利要求1所述的压力变换器，其特征在于：当第一密封件(9a， 9b)处于无裂缝、密封状态时，第二压力室(14)中的压力(p₂)基本上独立于 第一压力室(10a，10b)中的压力(p_1a，p_1b)，或者当第一密封件(9a，9b)处 于无裂缝、密封状态时，第二压力室(14)中的压力(p₂)对第一压力室(10a， 10b)中的压力(p₁)有一定依赖性。

3.根据权利要求1或2所述的压力变换器，其特征在于：第一密封件(9a， 9b)和/或第二密封件(16)由陶瓷或玻璃制成。

4.根据权利要求3所述的压力变换器，其特征在于：第一密封件(9a，9b) 和/或第二密封件(16)利用烧结法制成。

5.一种监控根据权利要求1至4中任一项所述的压力变换器(1)状态的 方法，其中，在处理介质(3a，3b)中提供压力变换器(1)以确定压力(p_a， p_b)，并且压力变换器包括罩(4)、分离隔膜(5a，5b)、至少一个第一压力传感 元件(6a，6b)、接触介质(7a，7b)、至少一个第一连接元件(8a，8b)和至少 一个第一密封件(9a，9b)，其中，分离隔膜(5a，5b)将处理介质(3a，3b) 与接触介质(7a，7b)分离，接触介质(7a，7b)向第一压力传感元件(6a，6b) 传送由分离隔膜(5a，5b)确定的处理介质(3a，3b)的压力(p_a，p_b)，其中 第一密封件(9a，9b)收纳第一连接元件(8a，8b)，并且所述罩(4)、分离隔 膜(5a，5b)和第一密封件(9a，9b)形成第一压力室(10a，10b)，其中在与 第一密封件(9a，9b)相对的第一压力室(10a，10b)的旁边提供第二压力室 (14)并且第二压力传感元件(15)设置在第二压力室(14)中，

其特征在于：

由第二压力传感元件(15)确定的第二压力室(14)中的压力值(p₂)与 给定压力值相比较，并且当第二压力室(14)确定的压力值(p₂)分别超过给定 值或超过预先确定的给定压力值的偏差时，则发出偏差信号。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于：在发出偏差信号的同时，压 力变换器(1)的第一压力传感元件(9a，9b)和/或第二压力传感元件(16)被切 换为无电位或确定电位。