[发明专利]测试非易失性存储设备的方法有效

专利信息
申请号: 200810176503.9 申请日: 2008-11-07
公开(公告)号: CN101533673A 公开(公告)日: 2009-09-16
发明(设计)人: 车载元;金德柱 申请(专利权)人: 海力士半导体有限公司
主分类号: G11C16/14 分类号: G11C16/14;G11C29/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 杨林森;康建峰
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要:
搜索关键词: 测试 非易失性 存储 设备 方法
【说明书】:

相关申请的交叉引用 

本申请要求于2008年3月14日提交的申请号为2008-23838的韩国专利申请的优先权,该优先权申请的内容通过引用整体结合于此。 

技术领域

本发明涉及非易失性存储设备的擦除方法。具体地,本发明涉及测试非易失性存储设备的方法,用于在对多级单元(MLC)存储设备执行擦除操作后增强阈值电压分布特性。 

背景技术

通常,将作为非易失性存储设备的闪速存储设备分为NAND闪速存储设备及NOR闪速存储设备。 

在NOR闪速存储器中,存储单元中的每一个被独立地连接至位线和字线,因此NOR闪速存储器具极好的随机存取时间。而在NAND闪速存储器中,由于存储单元是串联连接的,一个单元串(cell string)仅需一个接触,由此NAND闪速存储器具有极好的集成特征。因此,在高密度闪速存储器中,NAND闪速存储器已被广泛使用。 

众所周知的NAND闪速存储设备包括存储单元阵列、行译码器及页缓冲器。 

存储单元阵列具有沿行设置的字线、沿列设置的位线以及相应于每条位线的单元串。 

最近,已经积极研究用于将多个数据位存储于一个存储单元中的多位单元,以便增加上述闪速存储器的集成度。此存储单元被称为多级单元(以下称为“MLC”)。用以存储一个数据位的存储单元被称为单级单元(SLC)。 

MLC具有多个阈值电压分布,以便存储多个数据。这意味着根据每一  单元分布电压不同地存储可能的数据值。 

闪速存储设备被制造在晶片上。这里,在晶片上对根据测试过程具有故障的存储单元(也就是故障存储单元)进行屏蔽,然后通过使用激光关于该故障存储单元执行修复处理。 

图1为示出对晶片上的存储单元进行测试的通常处理的流程图。 

在图1中,开始在晶片上进行测试的情况下,在步骤S101中执行电源测试,用以确认是否将电源正常施加至每一存储芯片。 

在步骤S103中,在完成电源测试后,对晶片上的每一存储单元进行擦除操作。在制造过程期间,晶片上的存储单元可具有不同的阈值电压。相应地,对每一存储单元进行擦除,使得所述存储单元的阈值电压小于0V。 

在步骤S105中,根据以上擦除过程,执行硬擦除确认,以便确认每一存储单元的阈值电压是否小于0V。 

根据在步骤S107中硬擦除确认的结果,在特定存储单元发生故障的情况下,在步骤S109中停止测试操作。 

在步骤S111中,读取该故障存储单元中的数据,并将与所读取的数据相关的信息存储在相应的页缓冲器中。 

在步骤S113中,根据所存储的数据确定故障页缓冲器,将屏蔽数据输入至连接到该存储单元的页缓冲器,使得所述故障页缓冲器中的锁存器在后续操作中输出通过信号。 

在步骤S115中,在将所述屏蔽数据输入至页缓冲器后,再次对每一存储单元进行擦除,且通过硬擦除确认来确认是否正常执行了屏蔽。通常,因在步骤S111及S113中正常执行屏蔽,因此能够通过硬擦除确认。 

在步骤S117中,执行软程序,使得在完成硬擦除确认的情况下,所述存储单元的阈值电压接近于0V。具体地,在对存储单元进行编程时,在该存储单元的阈值电压远远小于0V的情况下,编程时间长且该存储单元会影响其它存储单元。因此,对这些存储单元进行预编程,以便所述存储单元的阈值电压接近于0V。 

在步骤S119中,通过使用软确认电压SEV对所述软程序进行确认。 

如上所述,在测试过程期间已出现故障存储单元的情况下,停止所述  测试处理,存储有关该故障存储单元的信息,以及对该故障存储单元进行屏蔽。然后,对每一存储单元进行擦除,并执行硬擦除确认。结果,测试时间变得较长。 

图2A至2C为示出根据图1中的操作,所述存储单元的阈值电压偏移的说明图。 

晶片上的存储单元在初始时间可具各种阈值电压。在图2A中,在步骤S103中对每一存储单元进行擦除,使得所述存储单元的阈值电压小于0V。这里,通过使用硬确认电压EV执行硬擦除确认。 

图2A至2C示出使具有宽阈值电压分布的存储单元的阈值电压偏移,使得所述存储单元可具有接近于0V的窄阈值电压分布的过程。 

在图2B与2C中,执行软程序,使得所述存储单元的阈值电压接近于0V。然后,通过使用软确认电压SEV进行确认,以确定所述存储单元阈值电压是否接近于软确认电压SEV。 

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