[发明专利]发光装置和制造该发光装置的方法及操作制造设备的方法有效
| 申请号： | 200810174893.6 | 申请日： | 2003-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN101409259A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 山崎舜平;村上雅一;川上奈绪美;大谷久 | 申请（专利权）人： | 株式会社半导体能源研究所 |
| 主分类号： | H01L21/82 | 分类号： | H01L21/82;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 臧霁晨;王小衡 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发光 装置 制造 方法 操作 设备 | ||
1.一种制造发光装置的方法，包括：
在衬底之上形成薄膜晶体管；
形成具有阴极、阳极、及在所述阴极和所述阳极之间的有机化合物层的发光元件，所述发光元件连接到所述薄膜晶体管，
其中所述有机化合物层由蒸汽淀积形成，其中由有机化合物形成的淀积材料通过电阻加热被加热，
其中所述阴极具有包括上层和下层的叠层结构，
其中所述下层由蒸汽淀积形成，其中由金属材料形成的淀积材料通过电阻加热被加热，
其中所述上层由蒸汽淀积形成，其中由相同的金属材料形成的所述淀积材料用电子枪加热。
2.根据权利要求1的制造发光装置的方法，
其中所述发光装置结合到选自包括视频相机、数码相机、护目镜式显示器、汽车导航系统、个人计算机及个人数字助理的组中的电子设备中。
3.一种发光装置，包括：
具有阴极、阳极、及在所述阴极和所述阳极之间的有机化合物层的发光元件；
连接到所述发光元件的薄膜晶体管，
其中所述阴极是层叠的层，包括：由蒸汽淀积形成的下层，其中由金属材料形成的淀积材料通过电阻加热被加热；和由蒸汽淀积形成的上层，其中由相同的金属材料形成的所述淀积材料用电子枪加热。
4.根据权利要求3的发光装置，
其中由所述金属材料形成的所述淀积材料是包括属于周期表中第一族或第二族的金属元素的合金。
5.一种包括权利要求3的发光装置的电子设备，
其中所述电子设备选自包括视频相机、数码相机、护目镜式显示器、汽车导航系统、个人计算机及个人数字助理的组中。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
