[发明专利]用于处理衬底的设备和方法

权利要求书

1.一种用于处理衬底的群组设备，包括：

用以接收衬底的负载闭锁腔室；

与所述负载闭锁腔室相邻的传送腔室；

一个或者多个处理腔室，每个所述处理腔室都具有面对所述传送腔室的侧面；

机器人，位于所述传送腔室中，用以将所述衬底装载到所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中，或者从所述负载闭锁腔室或所述一个或者多个处理腔室的至少一个中卸载；以及

旋转台，位于所述负载闭锁腔室中，用以支承所述衬底并将所述衬底旋转到希望取向，

其中，所述衬底具有矩形形状，其中，所述衬底的短边先从外部位置被装载进所述负载闭锁腔室，并且

所述旋转台旋转所述衬底以使所述衬底的长边指向所述传送腔室，所述衬底的长边先被装载进所述传送腔室，当在所述一个或者多个处理腔室中的至少一个中进行处理后，所述旋转台进一步旋转所述衬底以使所述衬底的短边指向所述负载闭锁腔。

2.如权利要求1所述的群组设备，其中，所述一个或者多个处理腔室的每个都具有矩形形状的水平面积，并且所述矩形水平面积的一个长边与所述传送腔室相邻。

3.如权利要求1所述的群组设备，其中，所述机器人具有用于支承所述衬底的至少一对臂。

4.如权利要求1所述的群组设备，其中，所述旋转台包括：

用以支承并升起所述衬底的一个或者多个支承销；以及

支承所述一个或者多个支承销的旋转块。

5.如权利要求1所述的群组设备，其中，各处理腔室的面对所述传送腔室的侧面所具有的宽度对应于所述衬底在从所述传送腔室卸载时衬底的面对所述处理腔室的边。

6.如权利要求1所述的群组设备，其中，当所述传送腔室面对所述处理腔室中的每个时，所述处理腔室相对所述传送腔室在安装面积内具有相同取向。

7.如权利要求6所述的群组设备，其中，所述负载闭锁腔室相对于所述传送腔室的取向不同于所述处理腔室。

8.如权利要求1所述的群组设备，其中，当将所述衬底从所述传送腔室装载进所述处理腔室中时，所述旋转台将所述衬底旋转相同的预定角度。

9.一种用于处理衬底的方法，包括：

将衬底装载进负载闭锁腔室；

在所述负载闭锁腔室中旋转所述衬底；

将旋转过的衬底装载进与所述负载闭锁腔室相邻的传送腔室；以及

选择性地将衬底从所述传送腔室装载进与所述传送腔室相邻的处理腔室，

其中，所述衬底具有矩形形状，并且所述衬底的短边先被装载进所述负载闭锁腔室中；

所述衬底被旋转以使所述衬底的长边指向所述传送腔室，所述衬底的所述长边先被装载进所述传送腔室中；并且

当所述衬底在被处理后从所述负载闭锁腔室进行传送时，所述衬底被旋转以使所述衬底的短边指向外部位置。

10.如权利要求9所述的方法，进一步包括：

在所述衬底已被处理之后，将所述衬底装载进所述传送腔室中；

将所述衬底传送进所述负载闭锁腔室中；

在所述负载闭锁腔室中旋转所述衬底；以及

将所述衬底从所述负载闭锁腔室卸载到外部位置。

11.如权利要求9所述的方法，其中，当所述衬底在所述传送腔室内进行旋转用来装载进所述处理腔室中时，所述处理腔室的长边侧面面对所述衬底的长边。

12.如权利要求11所述的方法，其中，当所述衬底在所述传送腔室中进行旋转用来装载进所述处理腔室中时，所述处理腔室的短边侧面基本垂直于所述衬底的长边。

13.如权利要求9所述的方法，其中，所述处理腔室和所述衬底具有相似的形状。

14.如权利要求9所述的方法，其中，多个处理腔室与所述传送腔室相邻地设置，所述处理腔室相对所述传送腔室具有相同取向。

15.如权利要求14所述的方法，其中，所述负载闭锁腔室具有不同于所述处理腔室的相对于所述传送腔室的取向。

16.如权利要求14所述的方法，其中，当所述衬底从所述传送腔室被装载进所述处理腔室的每个中时，所述衬底被旋转基本相同的角度。