[发明专利]用于操作和运输高纯度和超高纯度化学药品的大型容器

权利要求书

1.中空桶(1)，其用于存放对空气和/或湿气敏感的液体或可冷凝的化合物， 其带有接头元件(2)，其特征在于，其具有一个至少300L的内部体积，并且接头 元件(2)配有至少一个闭锁装置(6)。

2.按照权利要求1的中空桶，其特征在于，其具有大约850L，1130L或 20,000L的内部体积。

3.按照权利要求1或2的中空桶，其特征在于，该其具有一个圆柱形的外 壳(3)，并且在圆柱形外壳的两个侧面都有一个弓形地板(4a)和一个弓形上盖 (4b)。

4.按照权利要求1至3之一的中空桶，其特征在于，形成中空桶和/或接头 元件的材料包含精炼钢。

5.按照权利要求4的中空桶，其特征在于，该材料是精炼钢316L。

6.按照权利要求4或5之一的中空桶，其特征在于，该精炼钢被电解抛光。

7.按照权利要求1至6之一的中空桶，其特征在于，接头元件具有一个含 两个或多个闭锁装置(6)的多路系统(5)。

8.按照权利要求1至7之一的中空桶，其特征在于，该闭锁装置是一个阀 门(6a，6b或6c)或一个旋塞。

9.按照权利要求1至8之一的中空桶，其特征在于，该闭锁装置是一个膜 片阀。

10.按照权利要求1至9之一的中空桶，其特征在于，多路系统配有一个潜 管(7)。

11.按照权利要求1至10之一的中空桶，其特征在于，接头元件与一个蒸 馏塔相连接。

12.按照权利要求1至11之一的中空桶，其特征在于，该接头元件安装在 一个保护装置(8)中。

13.按照权利要求1至12之一的中空桶，其特征在于，中空桶具有一个支 架(9)。

14.适配器，其用于连接按照权利要求1至13之一的中空桶与高纯度或超 高纯度化合物的生产装置。

15.按照权利要求1至13之一的容器，其特征在于，所述中空桶包含高纯 度或超高纯度的化合物。

16.按照权利要求15的容器，其特征在于，其包含高纯度或超高纯度的硅- 或锗-化合物。

17.按照权利要求16的容器，其特征在于，其包含四氯化硅，三氯硅烷、 二氯硅烷、一氯硅烷、六氯乙硅烷、甲硅烷、六甲基二硅氮烷、四乙氧基硅烷、 甲基三乙氧基硅烷、二甲基二甲氧基硅烷、四氯化锗或四氢化锗。

18.适配器，其用于连接按照权利要求15至17之一的容器与高纯度或超高 纯度化合物的消耗装置。

19.按照权利要求1至13之一的中空桶用于储存、操作和/或运输高纯度或 超高纯度化合物的用途。

20.按照权利要求19的用途，用于储存、操作和/或运输高纯度或超高纯度 硅-和/或锗-化合物。