[发明专利]油墨组合物、图案形成方法以及液滴喷出装置

说明书

技术领域

本发明涉及油墨组合物、图案形成方法以及液滴喷出装置。

背景技术

由低温烧结陶瓷(LTCC：Low Temperature Co-fired Ceramics)构成的多层基板，由于具有优良的高频率特性和高耐热性，因此可以广泛应用于高频率模块基板和IC封装的基板等中。在LTCC多层基板的制造方法中，可以采用使用金属油墨在生片(green sheet)上描绘线路图案的工序和层叠多个生片一次烧结的工序。

在描绘线路图案的工序中，为了实现线路图案的高密度化，现已提出将金属油墨制成微小液滴而喷出的所谓喷墨法(例如专利文献1)。喷墨法中使用由数皮升(picoliter)～数十皮升构成的液滴，并通过改变该液滴的喷出位置从而可以使得线路图案微细化和狭窄化。在将由该液滴构成的线路图案用干燥炉干燥的情况下，生片由于其整体经受热处理，从而热变形会增大。因此在喷墨法中，迄今为止还没有用于解决上述问题的提案。

专利文献2～4中，在喷出液滴的液滴喷出头上分别设置激光源，再分别用激光照射喷出的液滴，从而使得各液滴瞬时干燥。激光源射出的激光，由于仅仅向液滴区域提供必要的热量，因此大大减轻了对线路图案和生片的热损伤。

专利文献1特开2005—57139号公报

专利文献2特开2006—247529号公报

专利文献3特开2006—248189号公报

专利文献4特开2006—247622号公报

在喷墨法中，为了描绘所希望形状的线路图案，使对象物和液滴喷出头相对移动。对象物和液滴喷出头的相对移动即液滴和激光的相对移动，使得对象物上的液滴从激光区域瞬时避开，因此对于对象物上的液滴，激光照射时间会显著缩短。

在液滴喷出头中，喷嘴的形成间距为数十微米至数百微米，因此在向每个喷嘴照射激光的情况下，激光的光点直径会缩小至与喷嘴的形成间距大致相等的尺寸。缩小后的激光的光点直径会进一步缩短激光照射对像物上的液滴的时间。

结果在使用激光的液滴干燥方法中，存在很难获得用于干燥液滴所需的充足照射时间，从而导致液滴干燥不足的问题。这样的问题可以考虑通过增加激光的功率补偿照射时间的缩短来解决。但是，如果将干燥所需的全部能量用短时间照射液滴，则液滴容易突沸，从而会使图案消失。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的在于提供使得液滴干燥效率提高的油墨组合物、使用该油墨组合物的图案形成方法以及液滴喷出装置。

本发明的油墨组合物含有导电性微粒子、分散上述导电性微粒子的分散介质和通过接受光开始燃烧反应的燃烧物。

本发明的油墨组合物能够通过接受光开始燃烧物的燃烧反应，再通过该燃烧反应产生的热促进自身干燥。因而，本发明的油墨组合物能够提高由油墨组合物构成的液滴的干燥效率。

就该油墨组合物而言，上述光是红外激光，上述燃烧物是内含氧的色素的凝集块，上述色素通过接受上述红外激光开始与上述氧的燃烧反应。

该油墨组合物能够通过色素的燃烧反应产生的热量促进油墨组合物的干燥。

就该油墨组合物而言，上述光是激光，上述燃烧物含有通过接受上述激光开始自燃反应的自燃物。

该油墨组合物能够通过自燃物的自燃反应产生的热量促进油墨组合物的干燥。

就该油墨组合物而言，上述光是红外激光，上述燃烧物含有微胶囊，该微胶囊中含有将上述红外激光转变为热量的色素和通过接受来自上述色素的热量开始自燃反应的自燃物。

该油墨组合物由于自燃物是微胶囊，因此可以减轻与导电性微粒子、分散介质、色素和自燃物有关的制约。

该油墨组合物中的上述分散介质，含有通过上述燃烧物的燃烧反应产生的热量开始燃烧反应的选自醇类、二醇类、醚类中的任意一种有机物。

就该油墨组合物而言，只要使得燃烧物一次燃烧，则可以使分散介质中含有的有机物连续地燃烧。因而该油墨组合物不论光的照射时间的长短，都确实能够促进分散介质的干燥。

本发明的图案形成方法具有将包含导电性微粒子、分散介质和通过接受光开始燃烧反应的燃烧物的油墨组合物制成液滴并喷出至对象物上的工序，和通过用光照射上述液滴使得上述燃烧物开始燃烧反应来干燥上述液滴并且在上述对象物上形成导电性图案的工序。

本发明的图案形成方法中，能够利用通过对含有燃烧物的液滴照射光使得燃烧物进行燃烧反应产生的热量促进该液滴的干燥。因而，本发明的图案形成方法可以提高由油墨组合物构成的液滴的干燥效率，并且可以实现图案的微细化。