[发明专利]直接图像曝光装置无效

专利信息
申请号: 200810168433.2 申请日: 2008-10-07
公开(公告)号: CN101419410A 公开(公告)日: 2009-04-29
发明(设计)人: 中野幸夫 申请(专利权)人: 株式会社阿迪泰克工程
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 黄纶伟
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 直接 图像 曝光 装置
【权利要求书】:

1.一种直接图像曝光装置,该直接图像曝光装置包括:

安装曝光对象的曝光台;

在一个方向上平行设置的多个曝光头;

在垂直于所述一个方向的其它方向上以特定间距P直线排列的提供 曝光光线的多个发光体;

在所述一个方向上移动所述曝光头和/或所述曝光台并将所述曝光 对象的任意部位定位于所述发光体能够进行曝光的特定位置的移动装 置;

控制所述发光体的开关的控制装置;其中

在所述曝光头之间,所述发光体的位置在所述其它方向上偏移特定 间距d,其中所述特定间距d为所述间距P的1/N,并且N为所述多个曝 光头的个数,

通过从发光体发出的曝光光线来对所述曝光对象进行曝光,

其中,该直接图像曝光装置在使所述曝光对象在所述一个方向上移 动的同时、对以间隙P/N间隔开的所述发光体进行开关控制,来对所述 曝光对象进行N次曝光,然后在所述曝光对象的一点上、在所述其它方 向和所述一个方向上都以间隙P/N移动而重复进行N2次曝光。

2.如权利要求1所述的直接图像曝光装置,其中,

通过从一个曝光头的所述发光体发出的曝光光线和从其它曝光头的 所述发光体发出的其它曝光光线来对所述曝光对象在所述一个方向上的 同一位置进行多回曝光。

3.如权利要求1或者2所述的直接图像曝光装置,该直接图像曝光 装置还包括:

控制所述发光体的开关定时的控制装置。

4.如权利要求1或者2所述的直接图像曝光装置,该直接图像曝光 装置还包括:

控制所述发光体的开关和开关定时的控制装置;其中

所述移动装置在所述一个方向上相对并连续地移动所述曝光头和/ 或所述曝光台,并且

在控制所述发光体的开关和开关定时的同时,照射从所述发光体发 出的曝光光线,从而将特定图案曝光在相对于所述曝光头连续移动的所 述曝光台上的所述曝光对象上。

5.如权利要求1或者2所述的直接图像曝光装置,该直接图像曝光 装置还包括:

控制所述发光体的输出的控制装置。

6.如权利要求1或者2所述的直接图像曝光装置,该直接图像曝光 装置还包括:

预先修正待曝光到所述曝光对象上的图案的修正装置。

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