[发明专利]蒸发器输送安瓿

权利要求书

1.一种利用适于接收至少一个容器的蒸发器安瓿、以及利用至少一个容器的方法，所述至少一个容器在其内限定了腔，所述方法包含：

将含有固体的源材料引入所述至少一个容器；

将所述固体源材料的至少一部分溶解于溶剂中；

将所述至少一个容器放置于所述蒸发器安瓿中；和

将所述溶剂从所述源材料移除。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述溶剂的移除在减压下操作。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述至少一个容器包含多个容器，并且所述放置步骤包括将所述多个容器堆叠在所述蒸发器安瓿中。

4.如权利要求1所述的方法，其中在将所述至少一个容器放置于蒸发器安瓿中后，将所述溶剂从所述源材料移除。

5.如权利要求1所述的方法，其还包含将所述蒸发器安瓿加热。

6.一种蒸发器装置，其包括限定了内室、并含有设置在内室中的可蒸发固体源材料的器皿，其中所述可蒸发固体源材料通过溶解于溶剂中随后移除溶剂来处理。

7.如权利要求6所述的蒸发器，其中所述器皿具有第一末端，位于所述第一末端的气体进口，和位于所述第一末端的气体出口。

8.如权利要求6所述的蒸发器，其包含至少一个适于支撑所述可蒸发固体源材料的水平布置的支撑表面。

9.如权利要求8所述的蒸发器，其还包含在所述水平布置的支撑表面上方垂直延伸入所述内室中的多个延伸元件。

10.如权利要求9所述的蒸发器，其中所述器皿具有第一末端，所述第一末端具有位于该第一末端的气体出口，并且所述多个延伸元件在所述支撑表面上方垂直延伸到第一末端。

11.如权利要求9所述的蒸发器，其中布置所述多个延伸元件以引起以下至少之一：气体横越经过器皿的不同区域，和热传递到由所述水平布置的支撑表面支撑的所述固体源材料。

12.如权利要求9所述的蒸发器，其中所述多个延伸元件附接到所述水平布置的支撑表面。

13.如权利要求6所述的蒸发器，其中所述可蒸发固体源材料的所述处理在器皿内进行。

14.如权利要求6所述的蒸发器，其中所述可蒸发源材料包括金属络合物。

15.一种利用蒸发器装置的方法，所述蒸发器装置包括具有内室、气体出口和设置在所述内室中的可蒸发固体源材料的器皿，所述可蒸发固体源材料通过溶解于溶剂中随后移除溶剂来处理，所述方法包含：

将所述器皿加热以蒸发所述固体源材料的至少一部分并因而产生蒸发的材料；以及

将所述蒸发的材料通过所述气体出口排出。

16.如权利要求15所述的方法，其中所述器皿具有布置成向所述内室供应气体的气体进口，并且所述方法还包含通过所述气体进口向所述内室供应气体。

17.如权利要求15所述的方法，其中所述可蒸发固体源材料包括金属络合物。

18.一种蒸发器，包括器皿，所述器皿具有(i)封闭内体积的热传导器皿壁，(ii)适于从所述内体积接收蒸发的材料的气体出口，以及(iii)设置在所述器皿内的至少一个固体材料保持器；

其中所述至少一个固体材料保持器具有固体材料支撑表面和延伸到所述固体材料支撑表面上方的热传导保持器侧壁；

其中所述侧壁适于在器皿操作温度下与所述器皿壁进行充分热接触，其中至少一个固体材料保持器适于保持包含固体的可蒸发材料；并且

其中所述器皿适于通过器皿壁将热传递到所述热传导保持器侧壁。

19.如权利要求18所述的蒸发器，其中所述器皿具有适于向所述内体积供应气体的气体进口。

20.如权利要求19所述的蒸发器，其中所述器皿具有第一末端，所述气体进口沿着所述第一末端设置，并且所述气体出口沿着所述第一末端设置。

21.如权利要求19所述的蒸发器，其中所述器皿包括向下延伸到所述内体积中并且与所述气体进口保持连接的管道。