[发明专利]振动换能器

权利要求书

1、一种振动换能器，包括：

基板，

隔膜，使用具有导电性能并定位在所述基板上方的沉积膜形成，且该隔膜具有从中心部分沿径向方向延伸的多个臂；

板，使用具有导电性能并定位在所述基板上方的沉积膜形成；

多个隔膜支承件，使用定位在所述基板上方的沉积膜形成并连结所述多个臂，以便以所述隔膜和基板之间的指定间隙将所述隔膜支承在所述基板上方；以及

多个隔膜凸块，形成为从所述多个臂上突起，以便防止所述隔膜意外地粘到所述基板或所述板上，

其中，当所述隔膜相对于所述板振动时，它们之间的静电电容变化，以便检测施加到所述隔膜上的压力变化。

2、如权利要求1所述的振动换能器，其中，所述多个隔膜凸块沿所述隔膜的周向方向形成在所述隔膜的臂的边缘的附近。

3、如权利要求1所述的振动换能器，其中，所述多个隔膜凸块在所述臂中排列，其方式是在一个隔膜凸块和沿径向方向与其邻近的隔膜凸块之间连接的线相对于所述隔膜的周向方向倾斜。

4、如权利要求1所述的振动换能器，其中，所述多个隔膜凸块在所述臂中以Z字形方式排列。

5、如权利要求1所述的振动换能器，其中，所述隔膜凸块的每个末端不呈尖锐的形状。

6、一种振动换能器，包括：

基板；

隔膜，使用具有导电性能并定位在基板上方的沉积膜形成，且该隔膜具有从中心部分沿径向方向延伸的多个臂；

板，使用具有导电性能并定位在所述基板上方的沉积膜形成；

多个隔膜支承件，使用定位在所述基板上方的沉积膜形成并连结所述多个臂，以便以所述隔膜和基板之间的指定间隙将所述隔膜支承在所述基板上方；以及

多个板凸块，形成为从所述板的周边部分上突起，以便防止所述隔膜意外地粘到所述板上，

其中，当所述隔膜相对于所述板振动时，它们之间的静电电容变化，以便检测施加到所述隔膜上的压力变化。

7、如权利要求6所述的振动换能器，其中，所述板凸块的每个末端不呈尖锐的形状。

8、一种振动换能器，包括：

具有导电性能的隔膜，包括中心部分和从所述中心部分沿径向方向延伸的多个臂；

具有导电性能的板，定位为与所述隔膜相对；

每个都具有绝缘性能的多个隔膜支承件，其中，所述隔膜支承件与臂连结，以便支承所述隔膜同时在所述隔膜和所述板之间形成间隙；和

多个孔，形成在所述隔膜的每个臂中，

其中，当所述隔膜相对于所述板振动时，形成在所述隔膜和所述板之间的静电电容变化，由此检测振动。

9、如权利要求8所述的振动换能器，其中，所述多个孔沿所述隔膜的每个臂排列，以使得在从所述臂与所述隔膜支承件连结的部分到所述隔膜的中心部分的方向上每个臂的密度逐渐增加。

10、如权利要求8所述的振动换能器，进一步包括基板，该基板具有与所述隔膜形成后腔的开口，其中，所述多个隔膜支承件连结所述基板的开口的周围区域，其中，所述隔膜的中心部分基本覆盖所述基板的开口且在所述中心部分和所述开口之间具有间隙，且其中，所述多个孔形成在每个臂中，除了位于所述基板的开口附近的指定区域。

11、如权利要求8所述的振动换能器，其中，所述多个孔排列成使得沿所述隔膜径向方向毗邻的孔之间的连接线相对于所述隔膜的周向方向倾斜。

12、如权利要求8所述的振动换能器，其中，沿从所述隔膜的周向方向上的每个臂的中心到每个臂的边缘的方向每个臂的密度减小。

13、如权利要求8所述的振动换能器，其中，每个臂的、同与所述隔膜支承件连结在一起的连结部分相比更靠近所述隔膜中心部分的区域的至少一部分形成为网状。