[发明专利]具门闩及气密结构的前开式晶圆盒

权利要求书

1.一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，该盒 体内部设有多个插槽以容置多个晶圆，且在该盒体的一侧面形成一开口可 供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该 门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多 个晶圆，其中该前开式晶圆盒的特征在于：

该门体的该内表面与该外表面之间配置至少一门闩结构且在该门体 的该内表面四周的边缘配置一可充气的气密件。

2.如权利要求1所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其中该 可充气的气密件的材料自下列组合中选出：橡胶及高分子塑料材料。

3.如权利要求1所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其中该 门闩结构包括一椭圆凸轮、一对与该椭圆凸轮两端接触的滑动装置、至少 一个滑轮配置于该门体的该内表面与该外表面之间且嵌入于该滑动装置 的滑槽中以及一个与该滑动装置连接成一体的定位弹片。

4.如权利要求3所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其进一 步于该滑动装置的一端配置一定位滑轮。

5.如权利要求3所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其进一 步于该椭圆凸轮上配置多个定位槽。

6.如权利要求1所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其中该 门体的该内表面上配置有至少一限制件模块。

7.一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，该盒 体内部设有多个插槽以容置多个晶圆，且在该盒体的一侧面形成一开口可 供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该 门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多 个晶圆，其中该前开式晶圆盒的特征在于：

该门体的该内表面与该外表面之间配置至少一门闩结构且在该盒体 的该开口四周的边缘配置一可充气的气密件。

8.一种具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，主要包括一盒体，该盒 体内部设有多个插槽以容置多个晶圆，且在该盒体的一侧面形成一开口可 供该多个晶圆的输入及输出，以及一门体，具有一外表面及一内表面，该 门体以该内表面与该盒体的该开口相结合，并用以保护该盒体内部的该多 个晶圆，其中该前开式晶圆盒的特征在于：

该门体的该内表面与该外表面之间配置至少一门闩结构且在该盒体 的该开口四周的边缘配置一可充气的气密件以及在该门体的该内表面的 外围区域设有另一气密件。

9.如权利要求8所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其中该 可充气的气密件的材料自下列组合中选出：橡胶及高分子塑料材料。

10.如权利要求8所述的具门闩及气密结构的前开式晶圆盒，其中该 另一气密件是一气密圈。