[发明专利]可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜有效

专利信息
申请号: 200810162743.3 申请日: 2008-12-01
公开(公告)号: CN101424748A 公开(公告)日: 2009-05-06
发明(设计)人: 顾培夫;艾曼灵;张梅骄;陈海星;金波 申请(专利权)人: 杭州科汀光学技术有限公司
主分类号: G02B1/10 分类号: G02B1/10
代理公司: 杭州中平专利事务所有限公司 代理人: 翟中平
地址: 311100浙江省杭州*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 可见 1.06 12 波段 高效 减反射膜
【权利要求书】:

1.一种可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜,它包括基底,其特征是:位于基底上的多层低折射率氟化物膜和多层高折射率硫化物膜交替叠加构成,低折射率氟化物膜之间置有高折射率硫化物膜,两边最外面分别是基底和空气;所述的低折射率的氟化物膜为YbF3、高折射率的硫化物膜为ZnS;所述的基底为ZnS,它是一种可见区、1.06μm和8-12μm透明的材料,采用的初始膜系设计表示成如下形式:ZnS|(LH)7L|Air,其中L表示低折射率的YbF3薄膜,H表示高折射率的ZnS薄膜,入射媒质为空气,选取各层膜的厚度,实现可见区、1.06μm和8-12μm三波段高效减反射膜,当光线在空气中以0°角度入射时,可以在可见区、1.06μm和8-12μm三个波段同时实现高透射,可见区0.44-0.68μm、1.06μm和8-12μm各波段的平均反射率由未镀膜时的约20%,17%和14%分别降低到0.30%,0.04%和0.62%,从而为多模制导提供了一个有效器件。 

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