[发明专利]显示面板在线切割系统及利用该系统的显示面板制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示器面板的制造，特别是显示面板在线切割系统及利用该系统的显示面板制造方法。

背景技术

笔记本电脑、桌上型电脑、LCD电视及手机之类的显示装置所使用的液晶显示装置与CRT影像显示装置相比，普遍具有薄型化、小型化及低功耗等优点，因此其需求量每年均呈增长趋势。上述现有液晶显示装置通常会使用可以把内部电信号显示成影像的液晶显示元件Cell，实现了其与使用者之间直接交互的界面。此时，作为液晶显示元件的Cell由加载液晶后依次积层的上部及下部基板组合而成，此时把偏光板贴附在构成液晶显示元件Cell的上下部基板的最外层面上。偏光板贴附在液晶显示装置用基板之前后面，只允许透射基板的光线中朝特定方向振动的光线穿透，偏光板通常包括驱使光线偏向的基材和披覆在上述基材表面上的保护膜。上述保护膜可以在偏光板贴附到基板之前避免偏光板受到外部的物理或化学性破坏，在上述偏光板贴附到基板之前需要进行清除工序以清除该保护膜。

偏光板通常会贴附在LCD模块(LCM)板的两面，为了保护上述偏光板(POL)而在偏光板的上面涂敷POL保护用膜。然而，把LCM板组装到背光的类的显示装置之前需要先清除保护膜后再进行组装工序，因此组装工序无法省略从板上清除保护膜的工序。

构成前述液晶显示装置的一般TFT-LCD面板(Thin Film Transistor LiquidCrystal Display Panel，薄膜晶体管液晶显示面板)的制造工序通常如下。首先，TFT-LCD面板的一个象素(由R、G及B等3个副象素组成)宽度大约只有0.3mm左右。置入其内部的TFT(Thin Film Transistor)则具有更小的尺寸。实现1600×1200的分辨率时所需要的像素量达到了192万个像素，如果考虑到各副象素就需要3倍(R，G，B)量，也就是说需要576万个TFT。

因此整体工序本身需要很高精密度而必须进行半导体级的工序。另一方面，前述TFT-LCD面板的制造工序主要分为TFT工序、彩色滤光片(CF)工序、Cell工序及模块工序，针对经过了TFT工序与CF工序的两个玻璃进行Cell工序后制成一个面板，针对经过了Cell工序的面板进行模块工序后制成实际用于显示器或TV的一张TFT-LCD面板。

TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)工序首先制作各Cell的电极，这是基本的电极生成工序，也是最基本的核心工序，该工序依次进行栅电极的生成、绝缘膜及半导体膜的生成、数据电极的生成、保护膜的生成、像素电极的生成等5个步骤，但各步骤需要进行一次以上的图案(Pattern)工序。该图案工序可称为TFT-LCD面板制造工序的核心工序，不仅TFT工序需要该工序，即使CF工序也需要进行图案工序。

前述的图案工序本身就是一种非常精密复杂的工序。为了制作一张TFT-LCD面板至少需要进行该工序几次。当然，虽然每次使用的蒸镀材料和工艺都不尽相同，但其工序是大致相同的。上述图案工序依次按照蒸镀、洗净、涂覆感光物质(Photo Registor，以下简称“PR”)、曝光、显影、蚀刻(Etching工序)、PR剥离(Strip工序)及检查的顺序进行，单单TFT工序就需要进行5次以上的工序。

TFT-LCD不像PDP(Plasma Display Panel，等离子体显示板)或OLED(有机LED)一样由各Cell本身发光，而是通过利用背光所照射出来的一定光线量调节各Cell液晶排列的方式调整光线亮度。由于背光本身是白色光，因此虽然通过改变液晶排列的方式调节光线量，但是为了实现彩色而制作R、G及B色时依然需要由CF(Color Filter，色彩滤波器)扮演重要角色。上述CF位于TFT-LCD面板的上板，其制作工序不同于TFT工序。

CF工序也需要前述图案工序。