[发明专利]感光性层叠体的制造系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种感光性层叠体的制造系统，其具备将基板预先加热到 规定温度的加热装置和在加热到规定温度的所述基板上贴合感光性板片 的层压装置。

背景技术

例如，液晶面板用基板、印制布线用基板和PDP面板用基板通过将 具有感光材料(感光性树脂)层的感光性片体(感光性板片)贴合在基板 表面上而构成感光性层叠体。该感光性片体是在可挠性塑料支承体上依次 层叠感光材料层和保护膜。

在制造上述感光性层叠体之际，通常，玻璃基板和树脂基板等基板被 预先加热到规定温度。并且，保护膜部分或整体被剥离的感光性板片和加 热过的基板被夹持在构成层压装置的一对层压辊之间进行加热，从而，感 光材料层被热压接在所述基板上。接下来，从基板剥离可挠性塑料支承体， 从而制造感光性层叠体。

例如，特开平8—183146号公报所揭示的干抗蚀膜的层压方法中，如 图8所示，沿着由输送部6形成的基板7的输送方向配置基板预热部1、 层压部2、基板冷却部3、基板上膜切断部4及膜去除部5。

基板预热部1在由预热加热器1a将基板7加热到规定温度后，将该 基板7向层压部2送出。在层压部2中配置一对层压辊2a、2b，在所述层 压辊2a、2b间进给基板7和干抗蚀膜8。从而，干抗蚀膜8被热压接在基 板7上。

不过，上述现有技术中，在基板预热部1和构成层压部2的层压辊 2a、2b的基板插入侧之间(以下，也称为过渡部分)，由于基板7被暴露 在室内的空气中，因而所述基板7的温度容易降低。然而，层压时基板7 的面内温度分布会对层压品质造成影响，所述基板7的面内温度均匀性对 于维持层压品质很重要。

因而，考虑在层压时必须确保基板7为期望温度，例如预估由室内空 气带来的温度降低，将所述基板7的设定温度设定得高于目标温度。然而， 由于过渡部分的基板7的输送速度变动，同时所述基板7周缘部的温度降 低大于中央部等原因，在所述过渡部分中的所述基板7的面内温度均匀性 降低。

发明内容

本发明的目的在于解决这种问题，提供一种感光性层叠体的制造系 统，其能够有效地阻止加热装置和层压装置的过渡部分的基板的温度降 低、同时能够提高所述基板的面内温度均匀性。

本发明所涉及的感光性层叠体的制造系统，具备将基板预先加热到规 定温度的加热装置和在加热到规定温度的所述基板上贴合感光性板片的 层压装置。

并且，在加热装置和层压装置之间配置有用于将基板向所述层压装置 的贴合处理位置输送的进给机构和用于将加热到规定温度的所述基板保 温直到所述贴合处理位置附近的保温机构。

本发明中，在加热装置和层压装置之间，基板由进给机构输送到所述 层压装置的贴合处理位置，同时，由保温机构在规定温度下保温到所述贴 合处理位置附近。从而，能够有效地阻止加热装置和层压装置的过渡部分 的基板的温度降低、同时能够提高所述基板的面内温度均匀性。从而能够 良好且可靠地维持层压品质。

通过附图和以下最佳实施方式例的联合说明，更进一步阐明上述目的 及其他目的、特征及优点。

附图说明

图1是本发明第一实施方式的制造系统的概略构成图。

图2是所述制造系统中所使用的长条状感光性板片的剖视图。

图3是在所述长条状感光性板片上粘接了粘接标签的状态的说明图。

图4是所述制造系统的主要部分说明图。

图5是所述制造系统的主要部分俯视说明图。

图6是本发明的第二实施方式的制造系统的概略构成图。

图7是本发明的第三实施方式的制造系统的概略构成图。

图8是特开平8—183146号公报所揭示的干抗蚀膜的层压方法的说明 图。

具体实施方式

如图1所示，本发明第一实施方式的感光性层叠体的制造系统20，在 液晶或有机EL用彩色滤波器的制作过程中，进行的作业是将长条状感光 性板片22的感光性树脂层28(后述)热转印到玻璃基板24上。

如图2所示，制造系统20中使用的感光性板片22是将可挠性基体薄 膜(支承体)26、感光性树脂层(感光材料层)28和保护膜30层叠而构 成。