[发明专利]表面等离子体激元可调谐光学谐振环滤波器

权利要求书

1.一种表面等离子体激元可调谐光学谐振环滤波器，其特征在于：该滤波器包括表面等离子体激元可调谐谐振环(3)、在谐振环(3)外侧的表面等离子体激元波导(1)和环形加热器(31)；谐振环(3)与在其环外侧的表面等离子体激元波导(1)构成等离子体激元可调谐方向耦合器(2)，耦合器(2)和谐振环(3)由表面等离子体激元波导制作；环形加热器(31)覆盖在谐振环(3)上；两个直线金属线空隙(17)位于耦合器(2)两侧，且对称分布在谐振环(3)外侧的表面等离子体激元波导(1)上；两个弧形金属线空隙(35)位于耦合器(2)两侧，且对称分布在谐振环(3)上；两个第一电极引脚(21)制作在谐振环(3)外侧的表面等离子体激元波导(1)上，并与直线金属线空隙(17)之间的波导中的金属纳米线(14)形成回路；四个第二电极引脚(32)制作在谐振环(3)上，并与弧形金属线空隙(35)之间的波导中的两段金属纳米线分别形成回路；第三电极引脚(33)、第四电极引脚(34)制作在环形加热器(31)上。

2.据权利要求1所述的表面等离子体激元可调谐光学谐振环滤波器，其特征在于，谐振环(3)外侧的表面等离子体激元波导(1)的芯层为金属纳米线(14)，厚度在10到20纳米之间，宽度为1至8微米之间，其上包层(12)、下包层(13)为具有高热光系数的有机聚合物介质材料，上、下包层厚度相等，均为15微米。

3.据权利要求1所述的表面等离子体激元可调谐光学谐振环滤波器，其特征在于谐振环(3)外侧的表面等离子体激元波导(1)，在金属纳米线(14)中制作第一电极引脚(21)和直线金属线空隙(17)，形成电信号传输回路。

4.据权利要求1所述的表面等离子体激元可调谐光学谐振环滤波器，其特征在于表面等离子体激元可调谐谐振环(3)，在谐振环的金属纳米线芯层(14)中制作第二电极引脚(32)和金属线空隙(35)，形成电信号传输回路。

5.据权利要求1所述的表面等离子体激元可调谐光学谐振环滤波器，其特征在于覆盖于谐振环(3)上的环形加热器(31)，环形加热器(31)为在谐振环(3)波导的上包层(12)、下包层(13)外侧的制作的上金属条载层(15)、下金属条载层(16)，其结构为开口金属环，上包层的第三电极引脚(33)和下包层的第四电极引脚(34)不在同一平面内。