[发明专利]基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法

权利要求书

1.一种基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，包括如下制作步骤：

(1)采用至少一个输入波导(1)、N个输出波导(5)、输入平板波导(2)和输出平板波导(4)、以及阵列波导(3)组成共同沉积在硅衬底上的AWG芯片(6)制作AAWG；将AWG芯片(6)与输入光纤阵列(12)和输出光纤阵列(13)进行耦合、调试和固化，测试性能参数a1，称为AAWG的第一次耦合调试固化；

(2)将固化后的AWG芯片(6)分割为AAWG的第一区域(6a)和第二区域(6b)两部分，并测试分割造成的波导长度的损失L；

(3)将AAWG的第二区域(6b)与第二基板(7b)粘接固定在一起，放置在固定夹具(15)上；

(4)利用6维微调架夹具(14)将AAWG的第一区域(6a)与第一基板(7a)固定，将补偿杆(8)放置在第一区域(6a)和第一基板(7a)上，利用紫外胶或者热固化胶固化补偿杆，准备第二次耦合调试；

(5)利用放置有固定的第一区域(6a)和第一基板(7a)的6维微调架夹具(14)，相对于放置有粘接固化在一起的第二区域(6b)与第二基板(7b)的固定夹具(15)进行AAWG的第二次耦合调试，并测试性能参数a2，a3，a4；

(6)当性能参数满足要求，将第一基板(7a)和第二基板(7b)固化，为AAWG第二次耦合固化，完成AAWG的第二次耦合调试的过程由如下条件决定：性能参数a1、a2、a3和a4的相对变化绝对值中，损耗最大变化小于0.5dB，损耗的起伏最大变化小于0.3dB，0.5dB带宽最大变化小于50pm；

(7)将制作的AAWG从夹具上取下，制作完成。

2.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的将AWG芯片(6)分割为AAWG的第一区域(6a)和第二区域(6b)两部分的分割位置，是输入平板波导(2)或输出平板波导(4)上的任一位置。

3.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，采用的分割刀片厚度在10-20um，分割深度为0.3-1mm，由于分割造成平板波导长度损失L在15-60um。

4.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的AAWG的第二区域(6b)与第二基板(7b)粘接固化的区域，在阵列波导(3)的区域之外。

5.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的AAWG的第二区域(6b)与第二基板(7b)粘接固定后，第二基板(7b)平行于切缝方向突出于第二区域(6b)Δl段距离，所述距离精度在10um。

6.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的第二基板(7b)平行于切缝方向突出于第二区域(6b)Δl段距离，在0-50um之间。

7.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的第二基板(7b)平行于切缝方向突出于第二区域(6b)Δl段距离，而且控制在0和等于平板波导长度损失L减去第二次固化的胶厚度l之间。

8.根据权利要求4和5所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的第二基板(7b)总平整度在2-15um范围，翘曲度在20-50um范围。

9.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的第一基板(7a)与AAWG 的第一区域(6a)接触的表面开槽，所述槽的方向与AWG芯片(6)的分割方向平行。

10.根据权利要求1所述的基于平板波导移动型无热阵列波导光栅的优化制作方法，其特征在于，所述的第一基板(7a)与AAWG的第一区域(6a)固定后在分割线方向平行，且沿分割线的平面在同一个XY平面内。