[发明专利]基板冷却方法以及基板冷却装置

权利要求书

1.一种基板冷却装置，对加热处理后的基板进行冷却，其特征在于，具 有：

中空的搬运辊，其构成为在所述基板的整个宽度方向上连续地支撑所述 基板；

液体供给装置，其包括配置在所述搬运辊的内部的喷嘴，且在所述搬运 辊的轴向上的多个位置向所述搬运辊的内周面供给冷却用的液体；

换气装置，其至少在所述搬运辊的旋转中使所述搬运辊内进行换气，

所述液体供给装置在所述搬运辊内的相对所述液体的空间比率变大的范 围内供给所述液体，以使供给到所述搬运辊的内周面的所述液体因所述搬运 辊的热量而汽化，

所述换气装置从所述搬运辊内排出所述液体汽化而成的蒸汽。

2.根据权利要求1所述的基板冷却装置，其特征在于，所述液体供给装 置的所述喷嘴具有中空轴状的形状，所述喷嘴插入到所述搬运辊内并沿与所 述搬运辊的轴向平行的方向延伸，且在长度方向上的多个位置具有喷嘴口，

所述喷嘴从各所述喷嘴口向所述搬运辊中至少在所述搬运辊的轴向支撑 基板的区域供给所述液体。

3.根据权利要求1或2所述的基板冷却装置，其特征在于，所述喷嘴向 所述搬运辊在其长度方向上均匀地供给所述液体。

4.根据权利要求1或2所述的基板冷却装置，其特征在于，所述液体供 给装置供给水作为所述液体。

5.根据权利要求1或2所述的基板冷却装置，其特征在于，具有冷却装 置，该冷却装置用于使向所述搬运辊供给之前的所述液体冷却。