[发明专利]安装有光学波导的基板以及制造该基板的方法

权利要求书

1.一种制造安装有光学波导的基板的方法，所述基板包括电路 基板和形成在所述电路基板上的光学波导，所述电路基板具有位于其 表面上的绝缘层和位于所述绝缘层下面的导体层，所述方法包括以下 步骤：

在所述绝缘层中形成至少一个开口，以便露出所述导体层；

在所述绝缘层上形成下包层，所述下包层在与所述绝缘层的开 口相对应的位置具有开口；

在所述下包层上形成抗蚀层，并且在所述抗蚀层的与所述绝缘 层的开口相对应的位置形成开口；

利用通过所述开口露出的导体层作为电极进行电解电镀，以便 向所述开口填充金属，所述开口穿过所述绝缘层、下包层和抗蚀层；

去除所述抗蚀层，以便形成由填充的金属构造的突起部分；

把所述突起部分处理成具有倾斜面；

在所述突起部分的倾斜面上由与所述突起部分不同的金属形成 反射层；

在所述下包层和所述反射层上堆叠芯层；以及

在所述芯层上堆叠上包层。

2.根据权利要求1所述的制造安装有光学波导的基板的方法，

其中，通过使用Cu的电解电镀法形成所述突起部分，由Au形 成所述反射层，并且将所述突起部分的倾斜面处理成相对于所述电路 基板的表面成45度角。

3.一种安装有光学波导的基板，包括：

电路基板，其具有位于其表面上的绝缘层和位于所述绝缘层下 面的导体层，所述绝缘层具有至少一个开口，以便露出所述导体层； 以及

形成在所述电路基板上的光学波导，

其中，所述光学波导包括：

下包层，其形成在所述绝缘层上，所述下包层在与所述绝 缘层的开口相对应的位置具有开口；

芯层，其堆叠在所述下包层上；

上包层，其堆叠在所述芯层上；以及

至少一个倾斜的反射镜，其形成在所述芯层中，所述反射 镜具有形成在突起部分的倾斜面上的金属层，所述突起部分由 形成在所述光学波导中并填充所述绝缘层的开口和所述下包层 的开口的金属制成，所述金属层由与所述突起部分不同的金属 制成。

4.根据权利要求3所述的安装有光学波导的基板，

其中，所述反射镜相对于所述光学波导倾斜45度。

5.根据权利要求4所述的安装有光学波导的基板，

其中，所述反射镜包括布置在所述光学波导两端附近的两个反 射镜。

6.根据权利要求4所述的安装有光学波导的基板，

其中，所述反射镜仅布置在所述光学波导一端附近。

7.根据权利要求5所述的安装有光学波导的基板，还包括：

光发射器，其具有光发射部分并布置在所述电路基板上；以及

光接收器，其具有光接收部分并布置在所述电路基板上，

其中，所述光发射部分的光轴与由所述光学波导的上包层和下 包层限定的光学路径垂直，所述光发射部分的光轴相对于反射镜之一 成45度角，并且

其中，所述光接收部分的光轴与所述光学波导的光学路径垂直， 所述光接收部分的光轴相对于另一个反射镜成45度角。

8.根据权利要求6所述的安装有光学波导的基板，还包括：

光发射器，其具有光发射部分并布置在所述电路基板上，

其中，所述光发射部分的光轴与由所述光学波导的上包层和下 包层限定的光学路径垂直，所述光发射部分的光轴相对于所述反射镜 成45度角。

9.根据权利要求3所述的安装有光学波导的基板，

其中，所述金属层由Au制成，所述突起部分由Cu制成。